Schichtwiderstandsmessung

Inline Mess-Systeme

EddyCus® TF inline

  • +  Kontaktfrei und Echtzeit-Erfassung
  • +  0.001 bis 1.000 Ohm/sq (für 1 Sensor)
  • +  In- und ex-vacuo
  • +  Einspurige und mehrspurige Testverfahren
  • +  Bis zu 3.000 Messungen/Sekunde

Schichtwiderstandsmessung

Der EddyCus® TF inline verbindet Standard- und Individualhardware für die Qualitätsprüfung in automatisierten Produktionsanlagen. Die inline-Anwendung ermöglicht Schichtwiderstands- und Schichtdickenmessungen. Das System unterstützt die umfassende Überwachung von Abscheide­verfahren über die gesamte Produktionsbreite. Die zur Verfügung stehende Hardware-Plattform bietet eine große Variabilität und ermöglicht kunden­spezifische Individualisierungen.   Das kontaktfreie Inline-Messverfahren ist besonders nützlich für die Qualitätssicherung von:
  • Abscheideprozessen
  • Annealing-Prozessen
  • Dotierungsprozessen

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Anwendungen

  • Architekturglas
  • Touchscreens and Flachbildschirme
  • LED Anwendungen
  • Smart-Glass Anwendungen
  • Antistatik-Folien
  • Photovoltaikzellen
  • flächige Heizanwendungen
  • Batterien
Transparente Dünnschichten Metallische Dünnschichten
ITO (Indium Tin Oxide) Aluminium
Kohlenstoffnanoröhrchen Molybdän
Graphen Silber
Metall-Nano-Drähte und Nano-Gitter Kupfer
Nano-Partikel Schichten Sonstige

Software & Bedienung

Die EddyCus® TF Inline Control Software verfügt über verschiedene Module für die Datenanzeige, Speicherung und Datenexport. Das System ist mit einem Computer verbunden, sodass die Datenübertragung über Ethernet, RS 232 oder RS 485, erfolgt.
  • Echtzeit-Erfassung des Schichtwiderstands oder Schichtdicke
  • Inkl. SQL Datenbank für Datenspeicherung und Datenanalyse
  • Datenansicht, statisitsche Auswertungen und Berichte
  • Verschiedene Schnittstellen möglich
SURAGUS Control Software zur Schichtwiderstandsbestimmung

EddyCus® TF inline

EddyCus® TF inline umfasst Inline-Testeverfahren für die Schicht­widerstands- und Schicht­dicken­messung zur Qualitätssicherung und Prozess­kontrolle.

  • Schichtwiderstandsmessung [Ohm/sq]
  • Messung der Schichtdicke von Dünnschichten [nm]
  • Messung der Substratdicke gering- und hochleitfähiger Subtrate [µm]
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Kontaktfreies Prüfsystem zur Schichtwiderstandsbestimmung

Leistung & Eigenschaften

EddyCus® TF inline
Messung der Spaltgröße 1 / 5 / 10 / 25 / 50 mm (weitere auf Anfrage)
Anzahl der Sensor-Paare 1 - 99
Subtrate Glas/PET-Folien/Wafer
Leitfähige Schichten Metalle/TCO/Kohlenstoffnanoröhre/Nano-Drähte/Graphen/Grids
Spannweite Schichtwiderstand bei einem Sensor 0.001 – 10 Ohm/sq < 2% Genauigkeit
10 – 100 Ohm/sq < 3% Genauigkeit
100 – 1000 Ohm/sq < 5% Genauigkeit
Ausstattung Ex-vacuo/in-vacuo
< 60°C/140°F (auf Anfrage < 90°C/194°F)
Messrate 1 / 10 /50 /100 /1000 Messungen/Sekunde (mehr auf Anfrage)
Dicke 2 nm bis 2 mm in Abhängigkeit des Schichtwiderstands
Weitere integrierte Messmöglichkeiten Substratdicke & Temperatur/
optische Transmission
Weitere Ausstattung möglich Hardware Trigger/DMC oder Strichcodeleser