Medición de la resistencia superficial

Sistemas de medición en línea

EddyCus® TF inline

  • +  Sin contacto y en tiempo real
  • +  0.001 - 1.000 ohmios/cuadrado (por un sensor)
  • +  Versiones in vacuo y ex vacuo
  • +  Soluciones de una sola hebra y de varias hebras
  • +  Hasta 3.000 muestras por segundo

Medición de la resistencia superficial

La serie EddyCus® TF inline combina hardware estandarizado y personalizado para garantizar una calidad integrada en las líneas de producción automatizadas. Las tareas de ensayo para aplicaciones en línea implican mediciones de grosor y resistividad superficial. Las corrientes Eddy facilitan el control integral de los procesos de deposición en todo el ancho de producción y la plataforma de hardware existente proporciona un alto grado de variabilidad y flexibilidad en función de los requisitos específicos de cada cliente. Esta solución en línea sin contacto resulta muy útil para los controles de calidad de los siguientes procesos:
  • Procesos de deposición
  • Procesos de recocido
  • Procesos de dopado

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Usos

  • Vidrio arquitectónico
  • Pantallas táctiles y planas
  • Aplicaciones de OLED
  • Aplicaciones de vidrio inteligente
  • Películas antiestáticas transparentes
  • Células fotovoltaicas
  • Aplicaciones de descongelación y calefacción
  • Baterías
Película fina transparente Películas metálicas finas
ITO (óxido de indio y estaño) Aluminio
Nanotubos y nanoyemas (nanobuds) de carbono Molibdeno
Películas de grafeno Plata
Nanohilos y nanomallas metálicos Cobre
Películas de nanopartículas Y muchas otras

Software & manipulación

El software EddyCus® TF inlinecontrol incorpora módulos para la representación, el almacenamiento, la revisión y la exportación de los datos. El sistema está conectado a un ordenador industrial o a un MES a travé́s de una conexión Ethernet, RS 232 o RS 485 para la transmisión de datos.
  • Representación en tiempo real de la resistencia superficial o el grosor
  • Incorpora una base de datos SQL para el almacenamiento de datos y el análisis exhaustivos
  • Revisión de datos, creación estática de resúmenes e informes
  • Varios interfaces disponibles
SURAGUS Control Software for Sheet Resistance Analysis

EddyCus® TF inline

EddyCus® TF inline incorpora soluciones de medición de la resistencia superficial y el grosor de las capas para garantizar la calidad y el control de procesos de la medición en línea.

  • Control de la resistencia superficial [ohmios/cuadrado]
  • Control del grosor de películas finas (nm) [nm]
  • Control del grosor de sustratos con elevada y baja conductividad [µm]
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Non-Contact Testing System Sheet Resistance Analysis

Prestaciones & configuración

EddyCus® TF inline
Tamaño de separación de la medición 1 / 5 / 10 / 25 / 50 mm (otras previa solicitud)
Número de pares de sensores 1 - 99
Sustratos Vidrio / películas de PET / obleas
Capas conductoras Metales / óxidos conductores transparentes / nanotubos de carbono / nanohilos / grafeno / mallas
Rango de resistencia superficial que abarca cada sensor 0.001 – 10 ohmios/cuadrado < con un margen de error < 2%
10 – 100 ohmios/cuadrado < con un margen de error < 3%
100 – 1.000 ohmios/cuadrado < con un margen de error < 5%
Entorno Ex vacuo / in vacuo
< 60 °C / 140 °F (previa solicitud < 90 °C / 194 °F)
Velocidad de procesado de las muestras 1 / 10 /50 /100 /1000 muestras por segundo (mayor previa solicitud)
Grosor De 2 nm a 2 mm en función de la resistencia superficial
Otras mediciones integradas Transmisión óptica / grosor y temperatura del sustrato
Otras características disponibles integradas Accionador de hardware / lector de códigos de barras o DMC