Mesure de la Résistance Superficielle

Systèmes pour Mesure en Ligne

EddyCus® TF inline

  • +  Sans contact, en temps réel
  • +  0.001 - 1,000 Ohm/sq (avec une seule sonde)
  • +  Versions pour mesure sous vide ou sous air
  • +  Mesure sur voie unique ou voies multiples
  • +  Jusqu’à 3,000 mesures par seconde

Mesure de la Résistance Superficielle

La série EddyCus® TF inline combine des équipements standardisés et personnalisés pour permettre une assurance de qualité intégrée dans les lignes de production automatisées. Les vérifications typiques ainsi obtenues en ligne concernent la mesure d’épaisseur et la mesure de la résistance superficielle. La technologie des courants de Foucault facilite le suivi complet des procédés de dépôt sur la largeur totale du produit. Les différents modules du système permettent d’adapter parfaitement l’outil de mesure  aux besoins de chaque utilisateur. Cette solution de mesure en ligne et sans contact permet un contrôle de la qualité pendant
  • Les procédés de dépôt
  • Les procédés de recuit
  • Les procédés de dopage

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Applications

  • Verre architectural
  • Ecrans tactiles & écrans plats
  • Applications OLED
  • Applications sur verre intelligent
  • Films transparents antistatiques
  • Cellules photovoltaïques
  • Applications de dégivrage & de chauffage
  • Batteries et piles
Couches minces transparentes Couches minces métalliques
ITO (Oxyde d'indium-étain) Aluminum
Nano-tubes en carbone Molybdène
Couches minces de graphène Argent
Nano-fils et nano-réseaux métalliques Cuivre
Couches minces de nano-particules et beaucoup d’autres

Logiciel & Utilisation

Le logiciel de contrôle de l’EddyCus® TF inline inclut des modules pour la représentation, l’archivage, l’évaluation et l’export de données. Le système est connecté à un ordinateur industriel ou un MES (Manufacturing Execution System) via Ethernet, RS 232 ou RS 485 pour assurer l’échange des données.
  • Affichage en temps réel de la résistance superficielle ou de l’épaisseur
  • Equipé d’une base de données SQL pour archivage et analyse des données
  • Evaluation des données, résumés statistiques et rapports
  • Différentes interfaces disponibles
SURAGUS Control Software for Sheet Resistance Analysis

EddyCus® TF inline

Les systèmes EddyCus® TF inline proposent des solutions pour la mesure en ligne de la résistance superficielle et de l’épaisseur de couches minces, pour l’assurance de qualité et le contrôle de procédé.

  • Suivi de la résistance superficielle [Ohm/sq]
  • Suivi de l’épaisseur de couches minces [nm]
  • • Mesure d’épaisseur pour des substrats de faible ou forte conductivité [µm]
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Non-Contact Testing System Sheet Resistance Analysis

Spécifications & Configurations

EddyCus® TF inline
Ouverture de mesure 1 / 5 / 10 / 25 / 50 mm (autres sur demande))
Nombre de têtes de mesure 1-99
Subtrats Verre / Films PET / Plaquettes
Couches conductrices Métaux / TCOs / nano-tubes en carbone (CNTs) / nano-fils / graphène / réseaux
Gamme de résistance superficielle couverte par les différentes sondes 0.001 – 10 Ohm/sq < 2% exactitude
10 – 100 Ohm/sq < 3% exactitude
100 – 1,000 Ohm/sq < 5% exactitude
Environnement Sous air / sous vide
< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F sur demande)
Taux d’échantillonnage 1 / 10 /50 /100 /1000 mesures par seconde (plus sur demande)
Epaisseur 2 nm à 2 mm, en fonction de la résistance superficielle
Autres mesures intégrées Epaisseur et température de substrat / transmission optique
Autres composants, en option Hardware trigger / DMC, lecteur de code-barres