シート抵抗測定

インライン測定システム

EddyCus® TF inline

  • +  無料通話とリアルタイム
  • +  0.001 - 1,000 Ohm/sq (1センサー毎)
  • +  真空および減圧バージョン
  • +  シングルレーンと多くのレーンのソルーション
  • +  3,000までのサンプル/秒

シート抵抗測定

The EddyCus® TF インラインシリーズは、自動生産ラインの統合品質管理の標準型とカスタマイズされたハードウェアを一つにしています。 インラインアプリケーションの試験タスクは、厚さとシート抵抗測定を含みます。渦電流は、製品全体の幅における凝結プロセスの総合的モニタリングを促進し、 利用可能なハードウェアプラットホームは特定のカスタマーの必要要件に従い、多様で柔軟な高度を提供します。このコンタクトのないインラインソルーションは、以下の品質管理に有益です:
  • 凝結プロセス
  • アニーリングプロセス
  • 寄進プロセス

クォート要求

アプリケーション

  • 建築的ガラス
  • タッチスクリーンとフラットモニター
  • OLED アプリケーション
  • スマートガラスアプリケーション
  • 透明の帯電防止フォイル
  • 光起電セル
  • 着氷防止とヒートティングアプリケーション
  • バッテリー
透明の薄いフィルム メタルの薄いフィルム
ITO (透明導電膜 アルミニウム
カーボンナノチューブとナノバッド モリブデン
炭素フィルム
メタルナノワイヤとナノグリッド
ナノ粒子フィルム より多く

ソフトウェアとハンドリング

EddyCus® TF インラインコントロールソフトウェアは、データ記述、データ貯蔵、データレビューおよびデータエクスポートのモジュールを提供します。 システムはデータ交換のため、産業コンピュータまたはイーサネット、RS232またはRS485接続経由のMESに接続されています。
  • シート抵抗または厚さのリアルタイムの陳述
  • 総合データ貯蔵と分析のSQLデータベースを含む
  • データレビュー、分析サマリーとレポート
  • 多くのインターフェースが利用可能
SURAGUS Control Software for Sheet Resistance Analysis

EddyCus® TF inline

EddyCus® TF インラインは、インライン測定品質管理およびプロセス管理に関する、シート抵抗とレイヤーの厚さの測定を含みます。

  • シート抵抗モニタリング[Ohm/sq]
  • 薄いフィルムの厚さのモニタリング[nm]
  • 低および高伝導基盤の壁の厚さのモニタリング [µm]
クォート要求
データシートダウンロード
Non-Contact Testing System Sheet Resistance Analysis

パフォーマンスとセットアップ

EddyCus® TF inline
測定ギャップサイズ 1 / 5 / 10 / 25 / 50 mm (要求による)
センサーペアの数 1-99
基盤 ガラス/ PET-フォイル/ ウェファー
伝導レイヤー メタル/ 透明導電酸化物/カーボンナノチューブ/ ナノワイヤ/ 炭素/ グリッド
センサーにより覆われたシート抵抗幅 0.001 – 10 Ohm/sq < 2% 正確性
10 – 100 Ohm/sq < 3% 正確性
100 – 1,000 Ohm/sq < 5% 正確性
環境 真空/ 減圧
< 60°C/ 140°F (要求 < 90°C/ 194°F)
サンプルレート 一秒毎に1 / 10 /50 /100 /1000サンプル (要求により、より高く)
厚さ シート抵抗に従い2 nm から2 mm
更なる統合測定 回路基板の厚さと温度/
視覚の伝送
更なる統合した利用可能な機能 ハードウェアトリガー/ DMCまたはコードリーダー