면저항 측정

맵핑 솔루션

EddyCus® TF inline

  • +  비접촉, 고해상도의 맵핑
  • +  0.001 to 1,000 Ohm/sq
  • +  대규모 데이터 분석

면저항 측정

The EddyCus® TF inline 은 글래스, 웨이퍼, 플라스틱, 포일에 증착된 전도성 박막 필름의 두께 및 면저항을 비접촉, 그리고 실시간으로 측정합니다. 이 장비는 정확하고 빠르게 전도성 필름의 면저항을 고해상도로 맵핑하며, 메탈 필름의 두께를 모니터링 합니다. 이 비접촉 방식의 맵핑 솔루션은 다음과 같은 영역에 유익합니다.
  • 증착 공정
  • 풀림(Annealing) 공정
  • 도핑 공정

견적문의

응용 분야:

  • 건축용 글래스
  • 터치 스크린, 평면 모니터
  • OLED 응용 분야
  • 스마트 글래스 분야
  • 투명 정전기 방지 포일
  • 태양 전지Photovoltaic cells
  • De-icing 및 난방 영역 and heating applications
  • 배터리 분야
투명 박막 필름 금속성 박막 필름
TCO (ITO, FTO, AZO, ATO)) 알루미늄
탄소나노튜브 및 나노 버드(Nano Buds) 몰리브데늄
그래핀 필름
메탈 나노와이어 및 나노 그물망 구리
나노 입자 필름 기타 많은 분야

소프트웨어 및 조작

면저항 분석기(Sheet resistance analyzer)는 시스템 조작과 데이터 분석을 위한 소프트웨어 로서 조작이 간단합니다. 테스트의 결과는 그래픽으로 디스플레이 되어지고, 추가적인 히스토그램과 소프트웨어 기능들이 더욱 자세한 저항 측정을 가능하게 합니다.
  • 빠른 자동화 맵핑
  • 사용하기 쉬운 통계 분석
  • 분석 및 데이터추출 기능
SURAGUS Control Software for Sheet Resistance Analysis

EddyCus® TF inline

EddyCus® TF inline 은 전도성필름, 글래스 증착 박막 시스템, 웨이퍼 및 포일의 면저항, 두께, 층 균일도, 전도성 효과, 그리고 결함을 빠른 맵핑으로 측정합니다. 당사는 각각의 목적에 맞는 다양한 비접촉 측정 솔루션을 보유하고 있습니다.

  • 면저항 모니터링 [Ohm/sq]
  • 박막필름 모니터링 [nm]
  • 저전도성부터 고전도성까지 기판의 두께 모니터링[µm]
견적문의
데이터 시트 다운로드
Non-Contact Testing System Sheet Resistance Analysis

성능 및 설치

EddyCus® TF inline
면저항 측정 비접촉 와전류 센서
기판 두께 측정 요청시 가능
측정 범위 400 x 400 mm²
최대 측정 가능한 샘플 두께 5 / 15 / 25 / 45 / 60(가장 두꺼운 샘플에 따라 조정 가능)
측정 가능한 면저항 범위 0.001 – 10 Ohm/sq의 경우 2 % 이내 정확도
10 – 100 Ohm/sq의 경우 3 % 이내 정확도
100 – 1,000 Ohm/sq의 경우 5 % 이내 정확도
1mm 피치(pitch)로 샘플 분석 시 측정 소요 시간 100 x 100 mm2 경우 3분 이하
200 x 200 mm2 경우 5분 이하
400 x 400 mm2 경우 15분 이하
박막필름의 두께 측정 (예. 구리) 면저항 크기에 따라 조정 필요
데이터 샘플링 속도 1 / 10 /50 /100 /1000 번의 샘플링
스캐닝 측정 속도 200 - 400 mm/s
스캐닝 측정 피치(pitch) 0,025 - 2,5 mm