Medição da resistência de folha

Sistemas de medição em linha

EddyCus® TF inline

  • +  Sem contato em tempo real
  • +  0001-1,000 ohms / sq (por sensor)
  • +  Versões de invácuo e exvácuo
  • +  Soluções de pista simples e multi-pistas
  • +  Até 3.000 amostras / segundo

Medição da resistência de folha

A série EddyCus ® TF inline combina hardware padronizado e personalizado para controle de qualidade integrado na linha de produção automatizada. As tarefas de teste para aplicação em linha envolvem a medição da resistividade e da espessura de folha. O Eddy Current facilita o monitoramento de processos de deposição na produção inteira. O hardware disponível oferece variabilidade e flexibilidade em alto nível, a fim de cobrir as necessidades específicas do cliente. Esta solução inline permite garantir a qualidade em:
  • Processos de deposição
  • Processos de recozimento
  • Processos de dotação

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Aplicações

  • Vidros para construção
  • Telas de toque e monitores de tela plana
  • Aplicações OLED
  • Aplicações de vidro inteligente
  • Folhas antiestáticas transparentes
  • Células fotovoltáicas
  • Aplicações de descongelamento e aquecimento
  • Baterias
Filmes transparentes finos Filmes metálicos finos
ITO (Indium Tin Oxide) Alumínio
Nanotubos de carbono e nanobotões Molibdênio
Filmes de grafeno Prata
Nanofios metálicos e nanogrades Cobre
Nanofilmes de partícula e muitos mais

Software & Manuseio

O software de controle do EddyCus® TF inline fornece módulos para representação, armazenamento, análise e exportação de dados. O sistema é conectado com um computador industrial ou MES via Ethernet, RS 232 ou RS 485, para troca de dados.
  • Representação de resistência ou espessura de folha em tempo real
  • Banco de dados SQL para armazenamento de dados e análise abrangente
  • Revisão de dados, resumos estatísticos e relatórios
  • Diversas interfaces disponíveis
SURAGUS Control Software for Sheet Resistance Analysis

EddyCus® TF inline

EddyCus® TF inline compreende soluções de medição da espessura da camada e de resistência de folha para controle de qualidade inline e controle de processos.

  • Monitorização da resistência da folha [Ohm/sq]
  • Monitoramento da espessura de camada fina [nm]
  • Monitoramento de espessura da parede de substratos de alta e baixa condutividades [µm]
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Non-Contact Testing System Sheet Resistance Analysis

Desempenho & Configuração

EddyCus® TF inline
Tamanho da abertura de medição 1 / 5 / 10 / 25 / 50 mm ((outras por consulta)
Número de pares de sensores 1-99
Substratos Vidro / filmes de PET / wafer
Camadas condutivas Metais / TCO / CNT / nanofios / grafeno / Grades
Abrangência dos sensores quanto à faixa de resistência de folha 0.001 – 10 Ohm/sq < 2 % precisão
10 – 100 Ohm/sq < 3 % precisão
100 – 1,000 Ohm/sq < 5 % precisão
Meio ambiente Ex-vácuo/ in-vácuo
< 60°C/ 140°F (a pedido < 90°C/ 194°F)
Taxa de amostragem 1 / 10 /50 /100 /1000 amostra por segundo (maior a pedido)
Espessura 2 nm para 2 mm em conformidade com a resistência de folha
Outras medidas integradas Espessura e temperatura dos substratos / transmissão óptica
Outras características integradas disponíveis gatilho hardware / DMC ou leitor de código de barras