Измерение сопротивления слоя

Системы измерения в потоке

EddyCus® TF inline

  • +  Бесконтактные в реальном времени
  • +  0,001 – 1,000 Ом/кв. (по одному сенсору)
  • +  Версии «под вакуумом» и «вне вакуума»
  • +  Системы в одну линию и в несколько линий
  • +  До 3 000 изм/сек

Измерение сопротивления слоя

Серия EddyCus® TF inline – это комбинация стандартного и определенного заказчиком аппаратного исполнения для встроенного контроля и обеспечения качества в автоматических производственных линиях. Задачи испытания линейных систем включают в себя измерение толщины и сопротивления слоя. Вихревые токи способствуют всестороннему отслеживанию процессов осаждения по всей ширине производственной линии, а имеющаяся аппаратная платформа обеспечивает высокую степень вариабельности и гибкости в  соответствии с конкретными требованиями заказчика. Такая бесконтактная линейная схема хорошо зарекомендовала себя для обеспечения качества в следующих областях:
  • Процессы осаждения
  • Процессы отжига
  • Процессы флотационного обогащения

Запрос котировки

Применение

  • Архитектурное стекло
  • Сенсорные экраны и плоские мониторы
  • Системы ОСИД
  • Системы «умного стекла»
  • Прозрачная антистатическая пленка
  • Фотоэлементы
  • Устройства удаления льда и нагревания
  • Батареи
Прозрачная тонкая пленка Металлические тонкие пленки
ITO (оксид индия и олова) Алюминий
Углеродные нанотрубки и наноглазки Молибден
Графеновые пленки Серебро
Металлические нанопровода и наносетки Медь
Пленки наночастиц И многие другие

Программное обеспечение и обращение

Управление EddyCus® TF обеспечивает модули для изображения данных, хранения данных и анализа данных. Для обмена данными система связана с промышленным компьютером или системой организации производства (MES) через Ethernet, RS 232 или RS 485.
  • Изображение сопротивления слоя или толщины в реальном времени
  • В том числе база данных SQL для всестороннего хранения и анализа данных
  • Анализ данных, статические итоги и отчеты
  • Имеются различные интерфейсы
SURAGUS Control Software for Sheet Resistance Analysis

EddyCus® TF inline

EddyCus® TF inline обеспечивает решения по измерению толщины и сопротивления слоя для обеспечения качества линейных измерений и контроля техпроцесса.

  • Отслеживание сопротивления слоя [Ом/кв.]
  • Отслеживание толщины тонкой пленки [нм]
  • Отслеживание толщины стенки субстратов с высокой и низкой проводимостью [мкм]
Запрос котировки
Загрузка таблицы данных
Non-Contact Testing System Sheet Resistance Analysis

Рабочие данные и установка

EddyCus® TF inline
Измерение размера зазора 1/ 5/ 10/ 25/ 50 мм (прочее по запросу)
Число сенсорных пар 1-99
Субстраты Стекло/ ПЭТ-пленка/ кристаллическая пластина
Токопроводящие слои Металлы/ прозрачный проводящий оксидные слои / углеродные нанотрубки/ нанопровода/ графен/ решетки
Диапазон измерения слоя, охватываемый каждым сенсором 0,001 – 10 Ом/кв.< точность 2 %
10 – 100 Ом/кв.< точность 3 %
100 – 1 000 Ом/кв. < точность 5 %
Среда Вне вакуума / под вакуумом
< 60°C/ 140°F (по запросу < 90°C/ 194°F)
Скорость обработки измерений 1 / 10 /50 /100 /1000 измерений в сек (выше по запросу)
Толщина От 2 нм до 2 мм, в соответствии с сопротивлением слоя
Прочие строенные измерения Толщина субстрата и температура /
оптическая передача
Прочие имеющиеся встроенные характеристики Выключатель аппаратуры/ цифровая микросхема или считыватель штрих-кодов