片電阻測量

線上測量系統

EddyCus® TF inline

  • +  非接觸和即時測量
  • +  片電阻值範圍: 0.001 to 1,000 Ohm/sq (一個sensor即可)
  • +  有不同的sensor對應真空和非真空需求
  • +  可選擇安裝在單一通道和多個通道生產線上
  • +  最高一秒可測3000次

片電阻測量

The EddyCus® TF inline 系統可以客製化的硬體整合在客戶端的系統上,作為線上即時監控系統。可以同時監測片電阻值和膜厚厚度。此套系統可以提供非常彈性客製化的服務,安裝在薄膜製成中作為即時監測  。這套非接觸式的檢測方案可以有利於以下的品質驗證:
  • 薄膜製成
  • 加溫退火過程
  • Dotation processes

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應用面:

  • 建築用玻璃
  • 觸碰螢幕和平面顯示器
  • OLED 應用
  • Smart-glass應用
  • 透明抗靜電箔片
  • 太陽能電池
  • 除冰和加熱應用
  • 電池
透明薄膜 金屬薄膜
ITO (Indium Tin Oxide) Aluminum
Carbon nano tubes and nano buds Molybdenum
Graphene films Silver
Metal nano wires and nano grids Copper
Nano particle films and many more

軟體 & 數據處理

The EddyCus® TF inline 軟體可以提供數據追蹤、數據存儲、數據預覽、數據輸出、數據分析等的各種軟體。這套系統也可以透過Ethernet, RS 232 or RS 485 連接到工業型電腦或MES上。
  • 即時描述片電阻值或膜厚厚度
  • Inc. SQL Database 對各種數據儲存和分析
  • 數據預覽和數據輸出報告功能
  • 多種人性化界面
SURAGUS Control Software for Sheet Resistance Analysis

EddyCus® TF inline

EddyCus® TF inline 是針對片電阻值測量和膜厚測量的完美方案,非常適用在線上監控和品質驗證方面。

  • 片電阻值監測 [Ohm/sq]
  • 膜厚監測 [nm]
  • 高導電性到低導電性基板厚度測量 [µm]
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Non-Contact Testing System Sheet Resistance Analysis

儀器表現 & 設定

EddyCus® TF inline
最大樣品厚度(影響 gap size) 1 / 5 / 10 / 25 / 50 mm (other on request)
可安裝Sensor 數目 1-99
基板材料 Glass/PET-foils/wafer
可測的導電層種類 Metals / TCO / CNT / Nanowires / Graphene / Grids
片電阻測量範圍 0.001 – 10 Ohm/sq < 2% accuracy
10 – 100 Ohm/sq < 3% accuracy
100 – 1,000 Ohm/sq < 5% accuracy
可承受環境 Ex-vacuo/in-vacuo
< 60°C/140°F (on request < 90°C/194°F)
測量樣品速度 1 / 10 /50 /100 /1000 samples per second (higher on request)
薄膜厚度測量 2 nm to 2 mm in accordance with sheet resistance
更多可以整合之需求 Substrate thickness and temperature/
optical transmission
更多可以整合之功能 Hardware trigger/DMC or bar code reader