Schichtwiderstandsmessung

Ein-Punkt-Messgeräte

EddyCus® TF lab Serie

  • +  Kontaktfrei und Echtzeit-Erfassung
  • +  0.001 bis 1000 Ohm/sq
  • +  Messung von verkapselten Schichten

Schichtwiderstandsmessung

Der EddyCus® TF lab ist ein speziell entwickeltes Prüfgerät für die berührungslose Ein-Punkt-Messung des Schichtwiderstands und der Schicht­dicke von gering- und hochleitfähigen Dünn­schichten auf Glas, Folien, Wafer und Kunststoffen in Echtzeit. Die Messgeräte sind ebenfalls an­wend­bar für die Echtzeit-Bestimmung der Schichtdicke von leitfähigen Substraten, wie z. B. Metallfolien und Bleche.

Anwendungen

  • Architekturglas
  • Touchscreens and Flachbildschirme
  • LED Anwendungen
  • Smart-Glass Anwendungen
  • Antistatik-Folien
  • Photovoltaikzellen
  • flächige Heizanwendungen
  • Batterien
Transparente Dünnschichten Metallische Dünnschichten
TCO (ITO, AZO, FTO) Aluminium
Graphen Molybdän
Kohlenstoffnanoröhrchen Zink
Metall-Nano-Drähte Silber
Sonstige Sonstige

Software & Bedienung

Die benutzerfreundliche EddyCus® TF lab control Software dient der Datenanzeige und der Datenanalyse der Schichtwiderstandsmessung. SURAGUS bietet ebenfalls ein zur Software zugehöriges Notebook oder Tablet-Computer an, um ein komplett ausgestattetes Messsystem mit hoher Benutzerfreundlichkeit bereitzustellen.
  • Echtzeit-Erfassung des Schichtwiderstands oder Schichtdicke
  • Mapping Modul für manuelles Mapping mit Anleitung
  • Sammlung von Datensätzen, Speicherung und Datenexport-Funktion

Sheet Resistance Software Control

EddyCus® TF lab 2020SR

Der EddyCus® TF lab 2020SR ist ein Ein-Punkt-Messgerät zur Bestimmung des Schichtwiderstands und der Schichtdicke für kleine Proben und in Laboranwendungen.

  • Schichtwiderstandsmessung [Ohm/sq]
  • Messung der Schichtdicke von Dünnschichten [nm]
  • Messung der Substratdicke gering- und hochleitfähiger Subtrate [µm]
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Download Datenblatt EddyCus® TF lab 2020SR

Einpunkt Prüfgerät Schichtwiderstandsmessung EddyCus® TF Lab 2020
Einpunkt Prüfgerät Schichtwiderstandsmessung EddyCus®TF Lab 4040

EddyCus® TF lab 4040SR

Der EddyCus® TF lab 4040SR ist ein Ein-Punkt-Messgerät für die schnelle und berührungslose Be­stimmung des Schicht­widerstands und der Schicht­dicke von großen Proben für Labore, Forschungs- und Entwicklungszentren und Qua­li­täts­sicherungs-Abteilungen im produzierenden Ge­wer­be.

  • Schichtwiderstandsmessung von mehrschichtigen Proben auf Anfrage (Machbarkeitsstudien)
  • Messung der Schicht- und Substratdicke [nm]
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Download Datenblatt EddyCus® 4040SR
Download Datenblatt EddyCus® 4040SR-OT Hybrid
Download Datenblatt EddyCus® 4040SR-A Anisotropy

Leistung & Eigenschaften

EddyCus® TF lab 2020SR EddyCus® TF lab 4040SR
Schichtwiderstandsmessung Eddy Current Sensor
Substratdickenmessung Auf Anfrage
Substrat Größe 200 x 200 mm² 400 x 400 mm²
Maximale Probendicke
(bestimmt Lückengröße)
1 / 2 / 5 / 10 / 25 mm
(abhängig von Probe/Anwendung)
Spannweite Schichtwiderstand 0.0001 – 10 Ohm/sq; 2 % Genauigkeit & 1 % Wiederholpräzision
10 – 100 Ohm/sq; 3 % Genauigkeit & 1.5 % Wiederholpräzision
100 – 500 Ohm/sq; 4 % Genauigkeit & 2 % Wiederholpräzision
100 – 1,000 Ohm/sq; 5 % Genauigkeit & 2.5 % Wiederholpräzision
1,000 – 3,000 Ohm/sq; 8 % Genauigkeit & 4 % Wiederholpräzision
Dickenmessung Dünnschichten In Abhängigkeit des Schichtwiderstands
Größe Gerät (h/b/t) 445 / 290 / 140 mm 660 / 760 / 310 mm