片電阻測量

單點測量儀器

EddyCus® TF lab Series

  • +  非接觸和即時測量
  • +  片電阻值範圍: 0.001 to 1,000 Ohm/sq
  • +  可測量被覆蓋住的膜層

片電阻測量

EddyCus® TF lab 系列是特別設計,為在玻璃、晶圓、,塑膠或箔片上的導電薄膜的測量系統,為單點非接觸式的方法, 即時測量薄厚和片電阻值。這系列的儀器也適用於即時測量導電材料的厚度,例如金屬箔片、金屬片等。

應用面

  • 建築用玻璃
  • 觸碰螢幕和平面顯示器
  • OLED 應用
  • Smart-glass 應用
  • 透明抗靜電箔片
  • 太陽能電池
  • 除冰和加熱應用
  • 電池
透明薄膜 金屬薄膜
TCO (ITO, AZO, FTO) Aluminum
Graphene Molybdenum
CNT (Carbon Nano Tubes) Zinc
Metal Nano Wires Silver
and many more and many more

軟體 & 數據處理

EddyCus® TF lab 對於片電阻值測量、數據追蹤、數據分析的控制軟體,具有非常人性化的介面設計。 SURAGUS 也提供適用觸碰功能的軟體,方便使用者在電腦或平板電腦上操作。
  • 即時描述片電阻值或厚度
  • 具有mapping module,可手動操作mapping
  • 數據分類和儲存。數據輸出功能
  • 軟體可以直接顯示片電阻值或薄膜厚度
Sheet Resistance Software Control

EddyCus® TF lab 2020SR

EddyCus® TF lab 2020SR 是使用單點來測量片電阻值和膜厚的儀器,適合實驗室應用和較小的樣品分析。

  • 片電阻值監測 [Ohm/sq]
  • 膜厚監測 [nm]
  • 高導電性到低導電性基板厚度監測 [µm]
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Download Data Sheet EddyCus® TF lab 2020SR

Single Point Device Sheet Resistance Testing EddyCus® TF Lab 2020
Single Point Device Sheet Resistance Testing EddyCus® TF Lab 4040

EddyCus® TF lab 4040SR

EddyCus® TF lab 4040SR 是使用單點且非接觸式來快速測量片電阻值和膜厚的儀器,適合實驗室、研發中心和薄膜製程的品質保證部門,適合用來分析較大的樣品。

  • 層薄片電阻值監控測[Ohm/sq] (視需求和材料特性)
  • 薄膜或基板厚度監測 [nm]
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Download Data Sheet EddyCus® TF lab 4040SR-OT Hybrid
Download Data Sheet EddyCus® TF lab 4040SR-A Anisotropy

儀器表現 & 設定

EddyCus® TF lab 2020SR EddyCus® TF lab 4040SR
基板厚度測量 視需求
基板大小 200x200 mm² 400x400 mm²
最大樣品厚度(影響 gap size)
(influences gap size)
1 / 2 / 5 / 10 / 25 mm
(Defined by the thickest sample/application)
片電阻測量範圍 0.0001 – 10 Ohm/sq; 2 % accuracy & 1 % repeatability
10 – 100 Ohm/sq; 3 % accuracy & 1.5 % repeatability
100 – 500 Ohm/sq; 4 % accuracy & 2 % repeatability
100 – 1,000 Ohm/sq; 5 % accuracy & 2.5 % repeatability
1,000 – 3,000 Ohm/sq; 8 % accuracy & 4 % repeatability
薄膜厚度測量 依據片電阻值判斷
儀器大小 (h/w/d) 445/290/140 mm 660/760/310 mm