Schichtwiderstandsmessung

Mapping Lösungen

EddyCus® TF map 2525SR
EddyCus® TF map 5050SR

  • +  Kontaktfrei und schnelles, hochauflösendes Mapping
  • +  0.001 bis 1.000 Ohm/sq
  • +  Umfangreiche Datenanalyse

Schichtwiderstandsmessung

Der EddyCus® TF map 2525SR und 5050SR wurden speziell für die berührungslose Echtzeitmessung des Schichtwiderstandes und der Schichtdicke von hoch und niedrig leitfähigen Dünnschichten auf Glas, Wafern, Kunststoff- oder Metallfolien entwickelt. Das Mapping System ermöglicht ein besonders hoch­auf­lösendes Monitoring des Schichtwiderstandes und der Schichtdicke. Es ist besonders   nützlich für die Qualitätssicherung von:
  • Abscheideprozessen
  • Annealing-Prozessen
  • Dotierungsprozessen

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Anwendungen

  • Architekturglas
  • Touchscreens & Flachbildschirme
  • LED Anwendungen
  • Smart-Glass Anwendungen
  • Antistatik-Folien
  • Photovoltaikzellen
  • flächige Heizanwendungen
  • Batterien
Transparente Dünnschichten Metallische Dünnschichten
TCO (ITO, FTO, AZO, ATO) Aluminium
Kohlenstoffnanoröhrchen Molybdän
Graphen Silber
Metall-Nano-Drähte und Nano-Gitter Kupfer
Nano-Partikel Schichten Sonstige

Software & Bedienung

Der "Sheet Resistance Analyzer" ist eine benutzerfreundliche Software für die System­kon­figuration und Datenanzeige. Die Messergebnisses des Prüfprozesses werden mit Hilfe von Grafiken veranschaulicht. Hisogramme und zusätzliche Software-Werkzeuge ermöglichen ein detailliertes Schichtwiderstands-Messsystem.
  • Schnelles automatisiertes Mapping
  • Benutzerfreundliche Datenanalyse
  • Datenexport-Funktion
Sheet Resistance Analyzer Software Control

EddyCus® TF map 2525SR

EddyCus® TF map 5050SR

Der EddyCus® TF map 2525SR und 5050SR sind Messgeräte für schnelles Mapping des Schichtwiderstands und der Schichtdicke. Es dient ebenfalls zum Homogenitätsmapping und zur Fehlererkennung von leitfähigen Dünnschichten auf Glas, Folien und Wafer. Für unterschiedliche Anforderungen gibt es entsprechende berührungsfreie Testverfahren.

  • Schichtwiderstandsmessung [Ohm/sq]
  • Messung der Schichtdicke von Dünnschichten [nm]
  • Messung der Substratdicke gering- und hochleitfähiger Subtrate [µm]
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EddyCus® TF map 2525SR
Download Datenblatt
EddyCus® TF map 5050SR
Zerstörungsfreies Prüfgerät EddyCus TF map 2020SR

Leistung & Eigenschaften

EddyCus® TF map 2525SR EddyCus® TF map 5050SR
Schichtwiderstands-Messung yes
Schichtdicken-Messung yes
Simultane optische Transparenzmessung optional
Anisotropie Bestimmung optional
Schichtwiderstand- und Schichtdickenmessung Berührungsloser Wirbelstromsensor
Substratdickemessung Ultraschall-Sensor
Max. Messfeldgröße 254 x 254 mm
(größere Messfläche auf Anfrage)
508 x 508 mm
(größere Messfläche auf Anfrage)
Max. Probendicke
(definierter Abstand)
2 / 5 / 10 mm (andere auf Anfrage)
(definiert durch die Dicke der Proben)
Schichtwiderstandsbereich 0.001 – 10 Ohm/sq < 2% Genauigkeit
10 – 100 Ohm/sq < 3% Genauigkeit
100 – 1.000 Ohm/sq < 5% Genauigkeit
Scandauer
@ 1 – 10 mm Messabstand
100 x 100 mm in 0.5 to 5 minutes
200 x 200 mm in 1.5 to 15 minutes
200 x 200 mm in 1.5 to 15 minutes
300 x 300 mm in 3 to 30 minutes
Dickenmessung (Scan) von Metallschichten (z.B. Kupfer) 2 nm – 2 mm
(in Übereinstimmung mit Schichtwiderstandsbereich)
Scanabstand 1 / 2 / 5 / 10 mm (andere auf Anfrage)
Gerätemaße (H/B/T) 230 / 600 / 800 mm 290 / 1180 / 900 mm
Gewicht 27.0 kg 120.0 kg
Verfügbare Extras Metal thickness tester
Anisotropy sheet resistance sensor
Optical transmission sensors at 632 nm wavelength