Medición de la resistencia superficial

Soluciones de mapeo

EddyCus® TF map 2525SR
EddyCus® TF map 5050SR

  • +  Mapeo sin contacto, rápido y de alta resolución
  • +  De 0.001 a 1000 ohmios/cuadrado
  • +  Análisis de datos completo

Medición de la resistencia superficial

EddyCus® TF map 2525SR/5050SR se ha diseñado específicamente para la determinación, sin contacto y en tiempo real, de la resistencia superficial y el grosor de películas finas con alta y baja conductividad sobre vidrio, obleas, plásticos y láminas delgadas. Los dispositivos permiten realizar un mapeo preciso, rápido y con gran resolución de la resistencia superficial de las películas conductoras, y supervisar el grosor de las películas metálicas. Esta solución de mapeo sin contacto resulta muy útil para los controles de calidad de los siguientes procesos:
  • Procesos de deposición
  • Procesos de recocido
  • Procesos de dopado

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Usos

  • Vidrio arquitectónico
  • Pantallas táctiles y planas
  • Aplicaciones de OLED
  • Aplicaciones de vidrio inteligente
  • Películas antiestáticas transparentes
  • Células fotovoltaicas
  • Aplicaciones de descongelación y calefacción
  • Baterías
Película fina transparente Películas metálicas finas
Óxidos conductores transparentes (ITO, FTO, AZO, ATO) Aluminio
Nanotubos y nanoyemas (nanobuds) de carbono Molibdeno
Películas de grafeno Plata
Nanohilos y nanomallas metálicos Cobre
Películas de nanopartículas Y muchas otras

Software & manipulación

El analizador de la resistencia superficial es un software fácil de usar que permite configurar el sistema y revisar los datos. Los resultados de los ensayos se ilustran con gráficas. Además, gracias a otros histogramas y a herramientas adicionales, se consigue un sistema de medición detallada de la resistencia.
  • Mapeo rápido y automatizado
  • Análisis estadístico sencillo
  • Posibilidad de exportar el análisis y los datos
Sheet Resistance Analyzer Software Control

EddyCus® TF map 2525SR

EddyCus® TF map 5050SR

EddyCus® TF map 2525SR/5050SR es un dispositivo que permite realizar un mapeo rápido de la resistencia superficial, el grosor, la homogeneidad de las capas y los efectos y defectos de la conductividad de películas conductoras y materiales finos dispuestos sobre vidrio, obleas y láminas delgadas. Existen distintas soluciones para realizar ensayos sin contacto que se adaptan a las diferentes necesidades.

  • Control de la resistencia superficial [ohmios/cuadrado]
  • Control del grosor de películas finas [nm]
  • Control del grosor de sustratos con elevada y baja conductividad [µm]
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EddyCus® TF map 2525SR
Descargar ficha técnica
EddyCus® TF map 5050SR
Non-Destructive Testing Device TF map 2020SR

Prestaciones & configuración

EddyCus® TF map 2525SR EddyCus® TF map 5050SR
Sheet Resistance Measurement yes
Thickness Measurement yes
Optical transmission optional
Anisotropy determination optional
Medición de la resistencia superficial Sensor de corrientes Eddy sin contacto
Medición del grosor de sustratos Sensor ultrasónico
Área max. de escaneo 10 inch / 254 x 254 mm
(áreas más grandes bajo pedido)
20 inch / 508 x 508 mm
(áreas más grandes bajo pedido)
Grosor máx. de la muestra
(determina las distancias))
2 / 5 / 10 mm (otros bajo pedido)
(determinado por la muestra con mayor grosor)
Rango de resistencia superficial 0,001 – 10 ohmios/cuadrado, con un margen de error < 2 %
10 – 100 ohmios/cuadrado, con un margen de error < 3 %
100 – 1000 ohmios/cuadrado, con un margen de error < 5 %
Tiempo de escaneo con un paso de
@ 1 – 10 mm
100 x 100 mm in 0.5 to 5 minutes
200 x 200 mm in 1.5 to 15 minutes
200 x 200 mm in 1.5 to 15 minutes
300 x 300 mm in 3 to 30 minutes
Medición del grosor de películas metalicas (p. ej., cobre) 2 nm – 2 mm
(en función de la resistencia superficial)
Paso de escaneo 1 / 2 / 5 / 10 mm (other on request)
Dimensiones (altura / anchura / profundidad)) 230 / 600 / 800 mm 290 / 1180 / 900 mm
Peso 27.0 kg 120.0 kg
Funciones disponibles Metal thickness tester
Anisotropy sheet resistance sensor
Optical transmission sensors at 632 nm wavelength