Mesure de la Résistance Superficielle

Solutions pour Cartographie

EddyCus® TF map 2525SR
EddyCus® TF map 5050SR

  • +  Cartographie haute résolution sans contact à grande vitesse
  • +  0.001 à 1,000 Ohm/sq
  • +  Puissants outils pour l’analyse des données

Mesure de la Résistance Superficielle

L’appareil EddyCus® TF map 2525SR/5050SR a été développé en particulier pour des mesures sans contact et en temps réel de l’épaisseur et de la résistance superficielle de couches minces de faible ou forte conductivité sur verre, plaquette, plastic ou film. Cet outil permet également de rapidement acquérir des cartographies précises de haute résolution spatiale de la résistance superficielle ainsi que de l’épaisseur de films conducteurs ou métalliques.   Ces balayages sans contact seront précieux pour l’assurance de qualité dans le cas de:
  • Les procédés de dépôt
  • Les procédés de recuit
  • Les procédés de dopage

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Applications

  • Verre architectural
  • Ecrans tactiles & écrans plats
  • Applications OLED
  • Applications sur verre intelligent
  • Films transparents antistatiques
  • Cellules photovoltaïques
  • Applications de dégivrage & de chauffage
  • Batteries et piles
Couches minces transparentes Couches minces métalliques
TCO (ITO, FTO, AZO, ATO) Aluminum
Nano-tubes en carbone Molybdène
Films en graphène Argent
Nano-fils métalliques Cuivre
Films en nano-particules et beaucoup d’autres

Logiciel & Utilisation

Le logiciel de contrôle pour l’analyse de la résistance superficielle se distingue par une interface d’utilisation simple pour configurer les acquisitions et analyser les données à l’aide de visualisations graphiques. Un large choix d’histogrammes et d’autres outils soft complète cet outil d’analyse.
  • Cartographie rapide et automatisée
  • Analyses statistiques simple à utiliser
  • Fonctions d’analyse et d’export des données
Sheet Resistance Analyzer Software Control

EddyCus® TF map 2525SR

EddyCus® TF map 5050SR

L'EddyCus® TF map 2525SR/5050SR est un outil de cartographie rapide de la résistance superficielle, de l’épaisseur et de l’homogénéité de couches, ainsi que des effets et des défauts de conductivité de couches minces et d’empilement de matériaux fins sur verre, plaquette et films. Différentes solutions de mesure sans contact sont disponibles, en fonction des contraintes d’application:

  • Suivi de la résistance superficielle [Ohm/sq]
  • Suivi de l’épaisseur de couches minces [nm]
  • Mesure d’épaisseur pour des substrats de faible ou forte conductivité [µm]
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EddyCus® TF map 2525SR
Télécharger la fiche technique
EddyCus® TF map 5050SR
Non-Destructive Testing Device TF map 2020SR

Spécifitcations & Configurations

EddyCus® TF map 2525SR EddyCus® TF map 5050SR
Sheet Resistance Measurement yes
Thickness Measurement yes
Optical transmission optional
Anisotropy determination optional
Mesure de la résistance superficielle et de l'epaisseur de métal Sonde de type Courant de Foucault
Mesure de l’épaisseur de substrat Sonde ultrasonique
Zone de balayage 10 inch / 254 x 254 mm
(plus sur demande)
20 inch / 508 x 508 mm
(plus sur demande)
Epaisseur maximale de l’échantillon
(conditionne l’ouverture de mesure)
2 / 5 / 10 mm (plus sur demande)
(Défini par l’échantillon le plus épais)
Gammes de résistance superficielle couvertes par les différentes sondes 0.001 – 10 Ohm/sq < 2% exactitude
10 – 100 Ohm/sq < 3% exactitude
100 – 1000 Ohm/sq < 5% exactitude
Durée de balayage avec un pas de
@ 1 – 10 mm
100 x 100 mm in 0.5 to 5 minutes
200 x 200 mm in 1.5 to 15 minutes
200 x 200 mm in 1.5 to 15 minutes
300 x 300 mm in 3 to 30 minutes
Mesure d’épaisseur de couches minces 2 nm – 2 mm
(en fonction de la résistance superficielle)
Pas de balayage 1 / 2 / 5 / 10 mm (other on request)
Dimensions (h/l/p) 230 / 600 / 800 mm 290 / 1180 / 900 mm
Poids 27.0 kg 120.0 kg
Fonctionnalités disponibles Metal thickness tester
Anisotropy sheet resistance sensor
Optical transmission sensors at 632 nm wavelength