シート抵抗測定

マッピングソルーション

EddyCus® TF map 2525SR
EddyCus® TF map 5050SR

  • +  コンタクトのない、素早い高ソルーションマッピング
  • +  0.001から1,000 Ohm/sq
  • +  広大なデータ分析

シート抵抗測定

EddyCus® TF map 2525SR/5050SR は、ガラス、ウェファー、プラスチックまたはフォイルにコンタクトのないリアルタイムの低および高伝導の薄いフィルムのシート抵抗決定のために設計されています。 この装置は、伝導フィルムとメタルフィルムの厚いモニタリングの正確であり、非常に速い高空間ソルーションマッピングを可能とします。このコンタクトのないマッピングソルーションは、以下の品質管理に効果的です:
  • 凝結プロセス
  • アニーリングプロセス
  • 寄進プロセス

クォート要求

アプリケーション:

  • 建築的ガラス
  • タッチスクリーンとフラットモニター
  • OLED アプリケーション
  • スマートガラスアプリケーション
  • 透明の帯電防止フォイル
  • 光起電セル
  • 着氷防止とヒートティングアプリケーション
  • バッテリー
透明の薄いフィルム メタルの薄いフィルム
TCO (ITO, FTO, AZO, ATO) アルミニウム
カーボンナノチューブとナノバッド モリブデン
炭素フィルム
メタルナノワイヤとナノグリッド
ナノ粒子フィルム より多くの物質

ソフトウェアとハンドリング

シート抵抗分析器は、システム構成およびデータレビューのユーザーフレンドリーのソフトウェアです。 検査プロセスの結果は、グラフ表示と共に描写されます。追加のヒストグラムとソフトウェアツールは、詳細な抵抗測定システムを可能とします。
  • 素早い自動マッピング
  • ユーザーフレンドリーの統計分析
  • 分析およびデータエクスポート機能
Sheet Resistance Analyzer Software Control

EddyCus® TF map 2525SR

EddyCus® TF map 5050SR

EddyCus® TF map 2525SR/5050SR は、シート抵抗、厚さ、レイヤー均一性、実効導電率および導電性皮膜の素早いマッピング、ガラス、ウェファー、およびフォイルの薄い物質システムの測定基準です。 異なる必要性に合わせた、異なコンタクトのない検査ソルーションがあります。

  • シート抵抗モニタリング[Ohm/sq]
  • 薄いフィルムに厚さのモニタリング[nm]
  • 低および高 導電性基[µm]の壁の厚さのモニタリング
クォート要求
データシートダウンロード
EddyCus® TF map 2525SR
データシートダウンロード
EddyCus® TF map 5050SR
Non-Destructive Testing Device TF map 2020SR

パフォーマンスとセットアップ

EddyCus® TF map 2525SR EddyCus® TF map 5050SR
Sheet Resistance Measurement yes
Thickness Measurement yes
Optical transmission optional
Anisotropy determination optional
シート抵抗測定 コンタクトのない渦電流セクター
回路基板厚さ測定 超音波センサー
スキャンの場所 10 inch / 254 x 254 mm
(larger on request)
20 inch / 508 x 508 mm
(larger on request)
最大サンプルの厚さ
(距離を規定)
2 / 5 / 10 mm
(最も厚いサンプルから規定)
シート抵抗ピッチ 0.001 – 10 Ohm/sq < 2% 正確性
10 – 100 Ohm/sq < 3% 正確性
100 – 1.000 Ohm/sq < 5% 正確性
スキャンの時間
@ 1 – 10 mm 測定ピッチ
100 x 100 mm in 0.5 to 5 minutes
200 x 200 mm in 1.5 to 15 minutes
200 x 200 mm in 1.5 to 15 minutes
300 x 300 mm in 3 to 30 minutes
薄いフィルムの厚さの測定 (例:クーパー) 2 nm – 2 mm
(シート抵抗に従う)
スキャンするピッチ 1 / 2 / 5 / 10 mm (other on request)
装置のサイズ (高さ/幅/横) 230 / 600 / 800 mm 290 / 1180 / 900 mm
重量 27.0 kg 120.0 kg
利用できる特性 Metal thickness tester
Anisotropy sheet resistance sensor
Optical transmission sensors at 632 nm wavelength