Измерение сопротивления слоя

Сканирующие системы

EddyCus® TF map 2525SR
EddyCus® TF map 5050SR

  • +  Бесконтактное и быстрое сканирование с высоким разрешением
  • +  От 0,001 до 1,000 Ом/кв.
  • +  Расширенный анализ данных

Измерение сопротивления слоя

EddyCus® TF map 2525SR/5050SR специально разработан для бесконтактного определения в одной точке в реальном времени толщины и сопротивления слоя тонких пленок высокой и низкой электропроводности на стекле, кристаллической решетке, пластмассе или на фольге. Устройство позволяет выполнять точное и быстрое отображение, с пространственным разрешением, сопротивления слоя электропроводных пленок и отслеживания толщины металлической пленки.   Эта система бесконтактного отображения хорошо подходит для следующих применений:
  • Процессы осаждения
  • Процессы отжига
  • Процессы флотационного обогащения

Запрос котировки

Применение

  • Архитектурное стекло
  • Сенсорные экраны и плоские мониторы
  • Системы ОСИД
  • Системы «умного стекла»
  • Прозрачная антистатическая пленка
  • Фотоэлементы
  • Устройства удаления льда и нагревания
  • Батареи
Прозрачная тонкая пленка Металлические тонкие пленки
Прозрачный проводящий оксидный слой (оксид индия и олова, AZO, FTO) Алюминий
Углеродные нанотрубки и наноглазки Молибден
Графеновые пленки Серебро
Металлические нанопровода и наносетки Медь
Пленки наночастиц И многие другие
Макс. толщина образца
(определяет расстояния))
2 / 5 / 10 mm (прочее по запросу)
(определяется по образцу с наибольшей толщиной)
Диапазон сопротивления слоя 0.001 – 10 Ом/кв.< 2 % точности
10 – 100 Ом/кв.< 3 % точности
100 – 1,000 Ом/кв.< 5 % точности
Время сканирования при шаге измерения 1 мм 100 x 100 mm² менее 3 минут
200 x 200 mm² менее 5 минут
Измерение толщины тонких пленок (напр., меди) 2 nm – 2 mm
(В соответствии с сопротивлением слоя)
Шаг сканирования 1 / 2 / 5 / 10 mm (other on request)
Размеры устройства
(высота/ширина/длина)
230 / 600 / 800 mm 290 / 1180 / 900 mm
Вес 27.0 kg 120.0 kg
доступные усовершенствования анизотропный датчик

Программное обеспечение и обращение

Используется удобное для пользователя программное обеспечение для конфигурации системы и анализа данных. Результаты процессов испытания иллюстрируются на графических дисплеях. Дополнительные гистограммы и инструменты ПО обеспечивают систему для детального измерения сопротивления.
  • Быстрое автоматическое отображение
  • Удобный для пользователя статистический анализ
  • Функция анализа и экспорта данных
Sheet Resistance Analyzer Software Control

EddyCus® TF map 2525SR

EddyCus® TF map 5050SR

EddyCus® TF map 2525SR/5050SR – это прибор для быстрого отображения сопротивления слоя, толщины, однородности слоя, воздействий электропроводности и дефектов электропроводных пленок и систем тонких материалов на стекле, кристаллической пластинке и фольге. Имеются разные бесконтактные испытательные системы, пригодные для различных требований.

  • Отслеживание сопротивления слоя [Ом/кв.]
  • Отслеживание толщины тонкой пленки [нм]
  • Отслеживание толщины стенки субстратов с низкой и высокой электропроводностью [мкм]
Запрос котировки
Загрузка таблицы данных
EddyCus® TF map 2525SR
Загрузка таблицы данных
EddyCus® TF map 5050SR
Non-Destructive Testing Device TF map 2020SR

Рабочие данные и установка

EddyCus® TF map 2525SR EddyCus® TF map 5050SR
Sheet Resistance Measurement yes
Thickness Measurement yes
Optical transmission optional
Anisotropy determination optional
Измерение сопротивления слоя Бесконтактный сенсор вихревых токов
Измерение толщины субстрата Ультразвуковой датчик
Макс. Площадь сканирования 10 inch / 254 x 254 mm
(больше по запросу)
20 inch / 508 x 508 mm
(больше по запросу)
Макс. толщина образца
(определяет расстояния))
2 / 5 / 10 mm (прочее по запросу)
(определяется по образцу с наибольшей толщиной)
Диапазон сопротивления слоя 0.001 – 10 Ом/кв.< 2 % точности
10 – 100 Ом/кв.< 3 % точности
100 – 1,000 Ом/кв.< 5 % точности
Время сканирования при шаге измерения
@ 1 – 10 мм
100 x 100 mm in 0.5 to 5 minutes
200 x 200 mm in 1.5 to 15 minutes
200 x 200 mm in 1.5 to 15 minutes
300 x 300 mm in 3 to 30 minutes
Измерение толщины тонких пленок (напр., меди) 2 nm – 2 mm
(В соответствии с сопротивлением слоя)
Шаг сканирования 1 / 2 / 5 / 10 mm (other on request)
Размеры устройства
(высота/ширина/длина)
230 / 600 / 800 mm 290 / 1180 / 900 mm
Вес 27.0 kg 120.0 kg
доступные усовершенствования Metal thickness tester
Anisotropy sheet resistance sensor
Optical transmission sensors at 632 nm wavelength