片電阻測量

Mapping Solutions

EddyCus® TF map 2525SR
EddyCus® TF map 5050SR

  • +  非接觸和快速高解析度mapping
  • +  片電阻值測量範圍: 0.001 to 1,000 Ohm/sq
  • +  具大量數據分析能力

片電阻測量

EddyCus® TF map 2525SR/5050SR i是特別設計,為在玻璃、晶圓,塑膠或箔片上的導電薄膜的測量系統,為單點非接觸式的方法, 即時測量薄厚和片電阻值。這台儀器提供導電薄膜正確又快速的高空間解析度mapping和金屬膜厚的監測 。這台非接觸的mapping 功能,能有利於對以下的製程做品質驗證:
  • 沉積製程
  • 加溫退火製程
  • 參雜製程

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應用面

  • 建築用玻璃
  • 觸碰螢幕和平面顯示器
  • OLED 應用
  • Smart-glass應用
  • 透明抗靜電箔片
  • 太陽能電池
  • 除冰和加熱應用
  • 電池
透明薄膜 金屬薄膜
TCO (ITO, FTO, AZO, ATO) Aluminum
Carbon Nano Tubes and Nano Buds Molybdenum
Graphene Films Silver
Metal Nano Wires and Nano Grids Copper
Nano Particle Films any many more

軟體 & 數據處理

這款片電阻分析儀器具有非常人性化的圖像介面設計和數據預覽。製程測量的結果也可以選擇用圖像分析來表示。 另外,柱狀圖和軟體分析工具也都內建在此軟體中。
  • 快速自動mapping
  • 人性化的統計分析
  • 多種數據分析和數據輸出功能
Sheet Resistance Analyzer Software Control

EddyCus® TF map 2525SR

EddyCus® TF map 5050SR

EddyCus® TF map 2525SR/5050SR 是特別設計為在玻璃、晶圓、塑膠或箔片上的導電薄膜快速mapping的系統,有效使用非接觸式測量方法,可以解決以下不同的需求:

  • 片電阻值監測 [Ohm/sq]
  • 膜厚監測 [nm]
  • 高導電性到低導電性基板厚度監測[µm]
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EddyCus® TF map 2525SR
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EddyCus® TF map 5050SR
Non-Destructive Testing Device TF map 2020SR

儀器表現 & 設定

EddyCus® TF map 2525SR EddyCus® TF map 5050SR
Sheet Resistance Measurement yes
Thickness Measurement yes
Optical transmission optional
Anisotropy determination optional
Sheet resistance & metal thickness measurement Non-contact eddy current sensor
Substrate thickness measurement Ultrasonic sensor
Max. scanning area 10 inch / 254 x 254 mm
(larger on request)
20 inch / 508 x 508 mm
(larger on request)
Max. sample thickness
(defines distances)
2 / 5 / 10 mm (other on request)
(Defined by the thickest sample/application)
Sheet resistance range 0.001 – 10 Ohm/sq < 2% accuracy
10 – 100 Ohm/sq < 3% accuracy
100 – 1.000 Ohm/sq < 5% accuracy
Scanning time
@ 1 – 10 mm measurement pitch
100 x 100 mm in 0.5 to 5 minutes
200 x 200 mm in 1.5 to 15 minutes
200 x 200 mm in 1.5 to 15 minutes
300 x 300 mm in 3 to 30 minutes
Thickness mapping of metal films (e.g. copper) 2 nm – 2 mm
(in accordance with sheet resistance range)
Scanning pitch 1 / 2 / 5 / 10 mm (other on request)
Device size (h/w/d) 230 / 600 / 800 mm 290 / 1180 / 900 mm
Weight 27.0 kg 120.0 kg
Available features Metal thickness tester
Anisotropy sheet resistance sensor
Optical transmission sensors at 632 nm wavelength