Určování měrného odporu vodivých vrstev

Pomocí přístrojů řady EddyCus® TF

Řada EddyCus® TF (thin-film) se skládá ze zařízení určených k bezdotykovému testování odporu tenkých vrstev v reálném čase za použití bezdotykové technologie testování pomocí vířivých proudů. Tyto systémy je možné využít také k charakterizaci citlivých povlaků, skrytých nebo zapouzdřených vrstev na sklu, substrátových discích nebo fóliích. Oblasti použití:

  • Určování měrného odporu (rezistivity) vodivých vrstev od 0.1 mOhm/m do 3.000 Ohm/m
  • Měření tloušťky kovových povlaků od 5 nm do 500 mikronů
  • Určování konduktivity (měrné elektrické vodivosti) od 1% IACS (0.6 mS/m)
Poptávka

Řešení k určování odporu vodivých vrstev

JEDNOBODOVÁ MĚŘICÍ ZAŘÍZENÍ

URČOVÁNÍ CHARAKTERISTIK

SÉRIOVÉ MĚŘICÍ SYSTÉMY

EddyCus® TF lab 2020SR/4040SR

Laboratorní zařízení EddyCus® TF jsou počítačové systémy pro měření měrného odporu vrstev určené k rychlému bezdotykovému určení charakteristiky povlaku v laboratořích, výzkumných a vývojových centrech a na úseku kontroly kvality v továrnách a laboratořích.

EddyCus® TF map 2525SR/5050SR

Série EddyCus® TF map je určena k rychlému určování měrného odporu povrchu, vyhodnocení homogenity vrstvy a zjišťování lokálních efektů a vad. Systémy jsou k dispozici jako samostatná testovací stanoviště nebo jako zařízení na stůl.

EddyCus® TF inline

Řada EddyCus® TF inline obsahuje integrované sady pro zařízení pro povrchovou úpravu, které umožňují inline bezdotykové monitorování odporu povlaku a řízení procesu nanášení vodivých tenkých povlaků.

Testovací aplikace

  • Měření odporu vrstvy/měrného odporu pro vyhodnocení procesů ukládání, žíhání, legování, ablace nebo oxidace (stárnutí)
  • Testování tloušťky kovových povlaků

Testovací aplikace

  • Určování měrného odporu povrchu TCO/TCM, pokovení a substrátových disků
  • Určování tloušťky tenkých kovových vrstev.
  • Určování homogenity a zjišťování vad (například nečistot, trhlin, usazenin)
  • Určování struktury tenkých konduktivních vrstev
  • Detekce trhlin, testování substrátových disků a sortování materiálu

Testovací aplikace

  • Sériové měření měrného odporu povrchu tenkých vrstev a optimalizace cílového využití
  • Sériové měření tloušťky tenkých kovových vrstev
  • Měření tloušťky vrstvy substrátu
  • Detekce trhlin, testování substrátových disků a sortování materiálu

Materiály & Průmyslová odvětví

Transparentní povlaky

Oblasti využití

Kovové povlaky

  • TCO (ITO, FTO, AZO, ATO)
  • CNT (karbonové nanotrubice)
  • Kovové nanodráty
  • Grafenové povrchy
  • Jiné
  • Sklo pro architekturu/plavené sklo
  • Balicí fólie a materiály
  • PV/solární a antistatické fólie
  • Dotykové obrazovky a ploché monitory
  • LED/OLED a aplikace z inteligentního skla
  • Polovodiče
  • Aplikace pro rozmrazování a vytápění
  • Měď
  • Hliník
  • Molybden
  • Zinek
  • Stříbro
  • Jiné