Medición de la resistencia superficial

con la serie EddyCus® TF

La serie EddyCus® TF (Thin-Film) (para películas finas) consta de una serie de dispositivos diseñados para realizar ensayos de la resistencia superficial de películas finas sin contacto y en tiempo real, utilizando para ello una tecnología de ensayos con corrientes Eddy sin contacto. Estos sistemas también se pueden utilizar para la caracterización de películas sensibles, capas ocultas o encapsuladas de vidrio, obleas o láminas delgadas. Sus usos son los siguientes:

  • Ensayos de resistividad superficial entre 0.1 miliohmios/cuadrado y 3.000 ohmios/cuadrado
  • Medición del grosor de las capas de películas metálicas de entre 5 nm y 500 micras
  • Mapeo de la conductividad a partir del 1% IACS (0.6 MS/m)
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Soluciones de medición de la resistencia superficial

DISPOSITIVOS DE MEDICIÓN DE PUNTO ÚNICO

SOLUCIONES DE MAPEO

SISTEMAS DE MEDICIÓN EN LÍNEA

EddyCus® TF lab 2020SR/4040SR

Los dispositivos EddyCus® TF lab son sistemas de escritorio para la medición de la resistencia superficial y del grosor de las películas, y se han diseñado para una caracterización de películas rápida y sin contacto para laboratorios, centros de I+D y departamentos de control de calidad de fábricas y plantas de fabricación de semiconductores.

EddyCus® TF map 2525SR/5050SR

La serie EddyCus® TF está diseñada para el mapeo rápido de la resistencia superficial, la evaluación de la homogeneidad de las capas y la detección de efectos y defectos localizados. Los sistemas están disponibles en forma de equipos independientes para la instalación en el suelo o como dispositivos de escritorio.

EddyCus® TF inline

La serie EddyCus® TF inline incorpora kits de integración en equipos de recubrimiento que permiten el control en línea y sin contacto de la resistencia superficial y de los procesos de deposición de películas conductoras finas.

Usos en ensayos

  • Ensayos de resistencia superficial o de resistividad superficial para la evaluación de los procesos de deposición, los procesos de recocido, los procesos de dopado, los procesos de ablación o los procesos de oxidación (envejecimiento)
  • Ensayos del grosor de películas metálicas

Usos en ensayos

  • Mapeo de la resistencia superficial de óxidos/materiales conductores transparentes, metalizados y obleas
  • Mapeo del grosor de las capas de películas metálicas finas
  • Mapeo de la homogeneidad y detección de defectos (p. ej., impurezas, fisuras o efectos de la deposición)
  • Evaluación de películas finas conductoras estructuradas
  • Detección de fisuras, pruebas sobre obleas y clasificación de materiales

Usos en ensayos

  • Medición en línea de la resistencia superficial y optimización del uso de materiales
  • Medición en línea del grosor de los recubrimientos de películas metálicas finas
  • Medición del grosor de sustratos
  • Detección de fisuras, pruebas sobre obleas y clasificación de materiales

Materiales & sectores

Películas transparentes

Campos de aplicación

Películas metálicas

  • Óxidos conductores transparentes (ITO, FTO, AZO, ATO)
  • Nanotubos de carbono
  • Nanocables metálicos
  • Películas de grafeno
  • Otros
  • Sector del vidrio arquitectónico/flotado
  • Películas y materiales de embalaje
  • Películas antiestáticas y para el sector fotovoltaico/solar
  • Pantallas táctiles y planas
  • Aplicaciones de LED/OLED y vidrio inteligente
  • Sector de los semiconductores
  • Aplicaciones de descongelación y calefacción
  • Cobre
  • Aluminio
  • Molibdeno
  • Zinc
  • Plata
  • Otros