Mesure de la Résistance Superficielle

par les systèmes EddyCus® TF

Les systèmes EddyCus® TF (TF: Thin-Film) représentent des outils de mesure sans contact et en temps réel de la résistance superficielle de couches minces, en utilisant une technologie sans contact de courant de Foucault. Ces instruments peuvent être utilisés pour la caractérisation de films sensibles, de couches cachées ou encapsulées sur verre, plaquette ou feuilles. Les applications typiques sont:

  • Mesure de la résistance superficielle de 0.1 mOhm/sq à 3.000 Ohm/sq
  • Mesure de l'épaisseur de couches minces métalliques de 5 nm à 500 µm
  • Cartographie de la conductivité à partir de 1% IACS (0.6 MS/m)
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Solutions pour Mesure de la Résistance Superficielle

Appareils pour Mesure dans un Point Isolé

Solutions pour Cartographie

Systèmes pour Mesure en Ligne

EddyCus® TF lab 2020SR/4040SR

Les systèmes EddyCus® TF lab sont des outils de type desktop pour la mesure rapide et sans contact de la résistance superficielle et de l'épaisseur de couches minces, qui sont souvent utilisés dans des laboratoires, des centres de R&D et des services de contrôle de qualité dans des usines.

EddyCus® TF map 2525SR/5050SR

La série EddyCus® TF map est dédiée à la cartographie rapide de la résistance superficielle, l'analyse de l'homogénéité de couches et la détection d'effets et de défauts locaux. Ces systèmes sont disponibles en version autoporteuse ou desktop.

EddyCus® TF inline

La série EddyCus® inline comporte des kits d'intégration pour montage dans des dispositifs de revêtement qui permettent par exemple le suivi en ligne et sans contact de la résistance superficielle ou le contrôle des procédés de déposition de couches minces conductrices.

Applications Test

  • Analyse de la résistance superficielle pour la caractérisation de procédés de dépôt, de l'étuvage, de dopage, d'ablation ou d'oxydation (vieillissement accéléré)
  • Mesure de l'épaisseur de films métalliques

Applications Test

  • Cartographie de la résistance superficielle de TCO/TCMs, de couches minces métalliques et de plaquettes
  • Cartographie de l'épaisseur de couches minces métalliques
  • Cartographie de l'homogénéité et de défauts (ex.:des pollutions, fissures, effets de dépôt)
  • Analyse de couches minces conductrices structurées
  • Détection de fissures, test de plaquettes et triage de matériaux

Applications Test

  • Mesure en ligne de la résistance superficielle et son optimisation en fonction de l'application
  • Mesure en ligne de l'épaisseur de couches minces métalliques
  • Mesure de l'épaisseur de substrats
  • Détection de fissures, test de plaquettes et tri de matériaux

Matériaux & Industries

Films Transparents

Domaines d'Application

Films Métalliques

  • TCO (ITO, FTO, AZO, ATO)
  • CNT (nano-tubes en carbone)
  • Nano-fils métalliques
  • Films en graphène
  • Autres
  • Industries du verre architectural & du verre flotté
  • Films & autres matériaux d'emballage
  • Films photovoltaïques & antistatiques
  • Ecrans tactiles & écrans plats
  • LED/OLED & applications en verre intelligent
  • Industrie des semi-conducteurs
  • Applications de dégivrage & de chauffage
  • Cuivre
  • Aluminium
  • Molybdène
  • Zinc
  • Argent
  • Autres