シート抵抗測定

EddyCus® TF シリーズ

EddyCus® TF シリーズ (薄いフィルム)は、コンタクトする必要のない渦電流検査技術を利用し、薄いフィルムのシート抵抗のリコンタクトのないリアルタイム用装置のセットを含みます。 このシステムは、ガラス、ウェファー、フォイルの感光フィルム、隠れたまたは暗号化されたレイヤーの性質のために利用できます。アプリケーションは以下の通りです:

  • 0.1 mOhm/sq から 3.000 ohms/sqのシート抵抗力検査
  • 5 nm から500 ミクロンのメタルフィルムのレイヤーの厚さの測定
  • 1 % IACS (0.6 MS/m)からの抵抗力マッピング
クォート要求

シート抵抗測定ソルーション

シングルポイント測定装置

マッピングソルーション

インライン測定システム

EddyCus® TF lab 2020SR/4040SR

EddyCus® TF ラボ装置は、研究室、R&Dセンター、工場や研究室の品質管理部門におけるコンタクトのないフィルムの性質用に設計されたデスクトップシステムを測定する、シート抵抗とフィルムの厚さです。

EddyCus® TF map 2525SR/5050SR

EddyCus® TF マップシリーズは、シート抵抗の高速マッピング、レイヤー均一性評価、ローカル効果と欠陥の探知用に設計されています。システムは、無料立位試験テーブルまたはデスクトップ装置として利用できます。

EddyCus® TF inline

EddyCus® TF インラインシステムは、電動の薄いフィルムの沈着プロセス用のプロセス管理およびコンタクトのないインラインシート抵抗に、装置をコーティングする統合キットを含みます。

テスティングアプリケーション

  • 凝結プロセス、アニーリングプロセス、ドーピングプロセス、アブレーションプロセス、または酸化プロセス(エージング)のテスティング/シート抵抗テスティング
  • メタルフィルムの厚さのテスティング

テスティングアプリケーション

  • TCO/TCM、物質化、ウェファーのシート抵抗マッピング
  • メタルの薄いフィルムのレイヤーの厚さのマッピング
  • 均一性のマッピングと欠陥検知 (例: 不純、ひび、凝結効果)
  • 構造化された伝導性の薄いフィルムの査定
  • ひびの探知、ウェファーテスティングと物質区分

テスティングアプリケーション

  • インラインシート抵抗測定とターゲット利用の最適化
  • メタルの薄いフィルムのインラインコーティング厚さ測定
  • 回路基板の厚さの測定
  • ひびの探知、ウェファーテスティングと物質区分

物質と産業

透明フィルム

アプリケーションのフィールド

メタリックフィルム

  • TCO (ITO, FTO, AZO, ATO)
  • CNT (カーボンナノチューブ)
  • メタルナノワイヤ
  • 炭素フィルム
  • その他
  • 建築的/フロートガラス産業
  • フォイルと物質のパッケージング
  • PV/ソーラーと 帯電防止フォイル
  • タッチスクリーンとフラットモニター
  • LED/OLEDとスマートガラスアプリケーション
  • 半導体産業
  • 着氷防止とヒーティングアプリケーション
  • アルミニウム
  • モリブデン
  • 亜鉛
  • その他