Medição de resistência de folha

por EddyCus® TF Series

EddyCus ® TF Series (filme fino) viabiliza um conjunto de dispositivos para ensaios sem contato em tempo real da resistência de folha de filmes finos utilizando tecnologia de ensaio eddy current sem contato. Os sistemas podem também ser utilizados para a caracterização de filmes sensíveis, camadas escondidas ou encapsuladas em vidro, wafers ou folhas. As aplicações são:

  • teste de resistividade de folha de 0.1 mOhm/m² de 3.000 mOhm/m²
  • medição de espessura de camada de filmes de metal de 5 nm a 500 microns
  • mapeamento de condutividade de 1% IACS (0.6 MS/m)
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Soluções de medição de resistência de folha

Dispositivos de medição pontual

Soluções de mapeamento

Sistemas de medição inline

EddyCus® TF lab 2020SR/4040SR

EddyCus ® TF dispositivos de laboratório são sistemas para medir a resistência de folha e espessura do filme projetado para a caracterização sem contato rápida de filmes em laboratórios, centros de P & D e departamentos de garantia de qualidade em empresas e fábricas.

EddyCus® TF map 2525SR/5050SR

A série EddyCus® TF map é dedicada ao mapeamento rápido de resistência de folha, à avaliação da homogeinidade de camada e à detecção de efeitos e defeitos locais. Os sistemas estão disponíveis como plataformas de teste livre ou dispositivos de desktop.

EddyCus® TF inline

A série EddyCus ® inline viabiliza conjuntos de integração para equipamentos de revestimento que permitem monitoramento da resistência de folha em linha sem contato e controle do processo para os processos de deposição de filmes finos condutores.

Aplicações de teste

  • testes de resistência de folha/ testes de resistividade de folha para a avaliação de processos de deposição, processos de recozimento, processos de doping, processos de ablaçã ou processos de oxidação (envelhecimento)
  • testes de espessura de filmes de metal

Aplicações de teste

  • mapeamento de resistência de folha de TCO/TCMs, metalização e wafers
  • mapeamento de espessura de camada de filmes finos metálicos
  • mapeamento de homogeneidade e detecção de defeitos (por exemplo, impurezas, trincas , efeitos de deposição)
  • avaliação de filmes finos da estrutura condutora
  • detecção de trincas, testes de wafers e triagem de material

Aplicações de teste

  • medição de resistência de folha inline e otimização da utilização de alvo
  • medição inline de revestimento da espessura de filmes finos metálicos
  • medição da espessura do substrato
  • detecção de trincas e teste de fratura, triagem de materiais

Materiais & Indústrias

Filmes transparentes

Áreas de aplicação

Filmes metálicos

  • TCO (ITO, FTO, AZO, ATO)
  • CNT (nanotubos de carbono)
  • nano-fios de metal
  • filmes de grafeno
  • outros
  • indústria architectural/vidro de float
  • folhas de embalagem e materiais
  • PV/Solar & folhas antiestáticas
  • Touch screens e monitores de tela plana
  • LED/OLED e aplicações de vidro Inteligente
  • indústria de semicondutores
  • aplicações de descongelamento o aquecimento
  • cobre
  • alumínio
  • molibdênio
  • zinco
  • prata
  • outros