Измерение поверхностного сопротивления пленок

с помощью систем серии EddyCus® TF

Системы серии EddyCus® TF (от англ. thin-film) позволяют производить в реальном времени безконтактные измерения поверхностного сопротивления тонких пленок используя метод вихревых токов. Кроме того данный метод позволяет безконтактно характеризировать скрытые и изолированные пленки, а также высокочувствительные пленки на стекле, кремниевых подложках и пленках. Применения:

  • Измерение поверхностного сопротивления от 0.1 мОм/кв до 3.000 Ом/кв
  • Измерение толщины металлических пленок от 5 нм до 500 мкм
  • Сканирование проводимости от 1% IACS (0.6 MC/м)

Системы для измерения поверхностного сопротивления пленок

Приборы для точечных измерений

Сканирующие приборы

Встроенные системы контроля

EddyCus® TF lab 2020SR/4040SR

Приборы серии EddyCus® TF lab являются настольными системами для быстрой и безконтактной характеристики тонких пленок для лабораторий, для центров исследований и разработок, а также для отделов по контролю качества на предприятиях.

EddyCus® TF map 2525SR/5050SR

Серия EddyCus® TF map охватывает измеряемые системы и настольные приборы для сканирования поверхностных сопротивлений, проводимостей, а также для нахождения локальных эффектов и дефектов для лабораторий, для центров исследований и разработок, а также для отделов по контролю качества на предприятиях.

EddyCus® TF inline

Серия EddyCus® TF inline составляет интеграционный пакет для производственных линий для оценки качества и управления процессом нанесения тонких проводящих пленок на производстве и в центрах исследований и разработок.

Применение

  • Измерение поверхностного сопротивления для оценки процессов нанесения, отжига, легирования/дотирования, удаления, а также процессов старения тонких пленок
  • Измерение толщины металлических пленок

Применение

  • Сканирование поверхностного сопротивления тонких пленок, металлических покрытий, подложек
  • Сканирование однородности и нахождение дефектов, таких как загрязнения, царапины, отслоения
  • Визуализация структурированных проводящих тонких пленок, в том числе в скрытых слоях
  • Оценка проводимости приграничных пленок, например склонность к эродированию
  • Сканирование толщины металлических пленок

Применение

  • Измерение поверхностного сопротивления в режиме inline и оптимизация расхода сырья
  • Измерение толщины металлических пленок в режиме inline
  • Оценка толщины подложки
  • Проверка на наличие царапин и трещин, сортировка материалов

Материалы & индустрия

Прозрачные тонкие пленки

Область применения

Металлические тонкие пленки

  • TCO (ITO, FTO, AZO, ATO)
  • CNT (carbon nanotubes)
  • Металлические нано-проволки
  • Графен
  • прочее
  • Архитектурное стекло/термополированное стекло
  • Упаковочные материалы и пленки
  • ФЭП, солнечные элементы и антистатические пленки
  • Применение для OLED и Smart-Glass
  • Полупроводниковая индустрия
  • Защита от облединения и для обогревания
  • Медь
  • Алюминий
  • Молибден
  • Цинк
  • Серебро
  • прочее