片电阻测量

by EddyCus® TF 系列

EddyCus® TF 系列 (thin-film) 是非接触式的实时测量薄膜片电阻的一组设备,它利用非接触式涡流电检测技术。该系统也可用于表征薄膜,玻璃内部的layer, 晶圆以及金属箔片。此产品应用如下:

  • 片电阻测量: 0.1 mOhm/sq to 3.000 Ohm/sq
  • 金属膜厚度测量: 5 nm to 500 microns
  • 电导率扫描绘图: 1% IACS (0.6 MS/m)
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表电阻测量解决方案

单点测量系统

绘图解决方案

线上测量系统

EddyCus® TF lab 2020SR/4040SR

EddyCus® TF lab 设备为桌上片电阻和薄膜厚度测量系统。它是专门为业界实验室,研发中心和质量保证部门设计的快速非接触式薄膜特性分析系统。

EddyCus® TF map 2525SR/5050SR

The EddyCus® TF map 系列是专门测量片电阻,膜均匀性评估,局部效应和缺陷检测的设备,具有快速扫描成像的功能。此系统可作为独立的测试站或者桌面设备使用。

EddyCus® TF inline

The EddyCus® inline 系列适合监控镀膜设备的品质,此系列是使用非接触式测量,可用在线上检测片电阻值和导电薄膜沉积过程的控制。

测量应用

  • 制程中片电阻值和片电阻率测量的评估 (包含沉积过程、退火过程、掺杂过程、烧蚀过程或氧化(老化)过程)
  • 金属膜厚度测量

测量应用

  • 片电阻扫描成像(包含TCO/TCMs,金属镀膜层,晶圆)
  • 金属薄膜的膜厚扫描成像
  • 均匀性扫描成像和缺陷检测 (包含杂质、裂纹和沉积效应)
  • 结构性导电薄膜评估
  • 裂缝检测,晶圆测量,材料分类

测量应用

  • 线上测量片电阻和目标使用率的优化
  • 线上测量金属镀膜的厚度
  • 衬底厚度測量
  • 裂缝检测,晶圆检测和材料分类

材料和工业

Transparent Films

Fields of Application

Metallic Films

  • TCO (ITO, FTO, AZO, ATO)
  • CNT (carbon nanotubes)
  • Metal nano-wires
  • Graphene films
  • Other
  • 建筑用玻璃/平板玻璃产业
  • 金属包装箔片和箔片材料
  • 太阳能电池和抗静电箔片
  • 触摸屏幕和平面显示器
  • LED/OLED & Smart-Glass应用
  • 半导体产业
  • 除冰和热应用
  • Copper
  • Aluminium
  • Molybdenum
  • Zinc
  • Silver
  • Other