Anwendungen
- Architekturglas
- Touchscreens and Flachbildschirme
- LED Anwendungen
- Smart-Glass Anwendungen
- Antistatik-Folien
- Photovoltaikzellen
- flächige Heizanwendungen
- Batterien
Schichtwiderstandsmessung
Der EddyCus® TF lab ist ein speziell entwickeltes Prüfgerät für die berührungslose Ein-Punkt-Messung des Schichtwiderstands und der Schichtdicke von gering- und hochleitfähigen Dünnschichten auf Glas, Folien, Wafer und Kunststoffen in Echtzeit. Die Messgeräte sind ebenfalls anwendbar für die Echtzeit-Bestimmung der Schichtdicke von leitfähigen Substraten, wie z. B. Metallfolien und Bleche.
| Transparente Dünnschichten | Metallische Dünnschichten |
|---|---|
| TCO (ITO, AZO, FTO) | Aluminium |
| Graphen | Molybdän |
| Kohlenstoffnanoröhrchen | Zink |
| Metall-Nano-Drähte | Silber |
| Sonstige | Sonstige |
Software & Bedienung
Die benutzerfreundliche EddyCus® TF lab control Software dient der Datenanzeige und der Datenanalyse der Schichtwiderstandsmessung. SURAGUS bietet ebenfalls ein zur Software zugehöriges Notebook oder Tablet-Computer an, um ein komplett ausgestattetes Messsystem mit hoher Benutzerfreundlichkeit bereitzustellen.
- Echtzeit-Erfassung des Schichtwiderstands oder Schichtdicke
- Mapping Modul für manuelles Mapping mit Anleitung
- Sammlung von Datensätzen, Speicherung und Datenexport-Funktion
Ein-Punkt-Messgeräte
EddyCus® TF lab 2020 Serie
EddyCus® TF lab 2020SR
Der EddyCus® TF lab 2020SR ist ein Ein-Punkt-Messgerät zur Bestimmung des Schichtwiderstands und der Schichtdicke für kleine Proben und in Laboranwendungen.
- Schichtwiderstandsmessung [Ohm/sq]
- Messung der Schichtdicke von Dünnschichten [nm]
- Messung der Substratdicke gering- und hochleitfähiger Subtrate [µm]
Single Point Sheet Resistance Tester TF lab 2020 SR PDF 875,9 KB
EddyCus® TF lab 4040 Serie
EddyCus® TF lab 4040SR
Der EddyCus® TF lab 4040SR ist ein Ein-Punkt-Messgerät für die schnelle und berührungslose Bestimmung des Schichtwiderstands und der Schichtdicke von großen Proben für Labore, Forschungs- und Entwicklungszentren und Qualitätssicherungs-Abteilungen im produzierenden Gewerbe.
- Schichtwiderstandsmessung von mehrschichtigen Proben auf Anfrage (Machbarkeitsstudien)
- Messung der Schicht- und Substratdicke [nm]
Leistung & Eigenschaften
| EddyCus TF lab 2020SR | EddyCus TF lab 4040SR | |
|---|---|---|
| Schichtwiderstandsmessung | Wirbelstromsensor | |
| Substratdickenmessung | Auf Anfrage | |
| Substrat Größe | 200 x 200 mm² | 400 x 400 mm² |
| Maximale Probendicke (bestimmt Lückengröße) |
up to 19 mm (abhängig von Probe/Anwendung) |
1 / 2 / 5 / 10 / 25 mm (abhängig von Probe/Anwendung) |
| Spannweite Schichtwiderstand | 0,0001 – 10 Ohm/sq; 2 % Genauigkeit & 1 % Wiederholpräzision 10 – 100 Ohm/sq; 3 % Genauigkeit & 1.5 % Wiederholpräzision 100 – 500 Ohm/sq; 4 % Genauigkeit & 2 % Wiederholpräzision 100 – 1.000 Ohm/sq; 5 % Genauigkeit & 2.5 % Wiederholpräzision 1.000 – 3.000 Ohm/sq; 8 % Genauigkeit & 4 % Wiederholpräzision |
|
| Dickenmessung Dünnschichten | In Abhängigkeit des Schichtwiderstands | |
| Größe Gerät (h/b/t) | 445 / 290 / 140 mm | 660 / 760 / 310 mm |
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