Anwendungen
- Architekturglas
- Touchscreens and Flachbildschirme
- LED Anwendungen
- Smart-Glass Anwendungen
- Antistatik-Folien
- Photovoltaikzellen
- flächige Heizanwendungen
- Batterien
Schichtwiderstandsmessung
Der EddyCus® TF inline verbindet Standard- und Individualhardware für die Qualitätsprüfung in automatisierten Produktionsanlagen. Die inline-Anwendung ermöglicht Schichtwiderstands- und Schichtdickenmessungen. Das System unterstützt die umfassende Überwachung von Abscheideverfahren über die gesamte Produktionsbreite. Die zur Verfügung stehende Hardware-Plattform bietet eine große Variabilität und ermöglicht kundenspezifische Individualisierungen. Das kontaktfreie Inline-Messverfahren ist besonders nützlich für die Qualitätssicherung von:
- Abscheideprozessen
- Annealing-Prozessen
- Dotierungsprozessen
| Transparente Dünnschichten | Metallische Dünnschichten |
|---|---|
| ITO (Indium Tin Oxide) | Aluminium |
| Kohlenstoffnanoröhrchen | Molybdän |
| Graphen | Silber |
| Metall-Nano-Drähte und Nano-Gitter | Kupfer |
| Nano-Partikel Schichten | Sonstige |
Software & Bedienung
Die EddyCus® TF Inline Control Software verfügt über verschiedene Module für die Datenanzeige, Speicherung und Datenexport. Das System ist mit einem Computer verbunden, sodass die Datenübertragung über Ethernet, RS 232 oder RS 485, erfolgt.
- Echtzeit-Erfassung des Schichtwiderstands oder Schichtdicke
- Inkl. SQL Datenbank für Datenspeicherung und Datenanalyse
- Datenansicht, statisitsche Auswertungen und Berichte
- Verschiedene Schnittstellen möglich
Inline Mess-Systeme
EddyCus® TF inline
EddyCus® TF inline umfasst Inline-Testeverfahren für die Schichtwiderstands- und Schichtdickenmessung zur Qualitätssicherung und Prozesskontrolle.
- Schichtwiderstandsmessung [Ohm/sq]
- Messung der Schichtdicke von Dünnschichten [nm]
- Messung der Substratdicke gering- und hochleitfähiger Subtrate [µm]
Leistung & Eigenschaften
| EddyCus® TF inline | ||
|---|---|---|
| Messung der Spaltgröße | 1 / 5 / 10 / 25 / 50 mm (weitere auf Anfrage) | |
| Anzahl der Sensor-Paare | 1 - 99 | |
| Subtrate | Glas/PET-Folien/Wafer | |
| Leitfähige Schichten | Metalle/TCO/Kohlenstoffnanoröhre/Nano-Drähte/Graphen/Grids | |
| Spannweite Schichtwiderstand bei einem Sensor | 0,001 – 10 Ohm/sq < 2% Genauigkeit 10 – 100 Ohm/sq < 3% Genauigkeit 100 – 1.000 Ohm/sq < 5% Genauigkeit |
|
| Ausstattung | Ex-vacuo/in-vacuo < 60°C/140°F (auf Anfrage < 90°C/194°F) |
|
| Messrate | 1 / 10 /50 /100 /1000 Messungen/Sekunde (mehr auf Anfrage) | |
| Dicke | 2 nm bis 2 mm in Abhängigkeit des Schichtwiderstands | |
| Weitere integrierte Messmöglichkeiten | Substratdicke & Temperatur/ optische Transmission |
|
| Weitere Ausstattung möglich | Hardware Trigger/DMC oder Strichcodeleser | |
ANGEBOT ANFORDERN