Anwendungen
- Architekturglas
- Touchscreens & Flachbildschirme
- LED Anwendungen
- Smart-Glass Anwendungen
- Antistatik-Folien
- Photovoltaikzellen
- flächige Heizanwendungen
- Batterien
Schichtwiderstandsmessung
Der EddyCus® TF map 2525SR und 5050SR wurden speziell für die berührungslose Echtzeitmessung des Schichtwiderstandes und der Schichtdicke von hoch und niedrig leitfähigen Dünnschichten auf Glas, Wafern, Kunststoff- oder Metallfolien entwickelt. Das Mapping System ermöglicht ein besonders hochauflösendes Monitoring des Schichtwiderstandes und der Schichtdicke. Es ist besonders nützlich für die Qualitätssicherung von:
- Abscheideprozessen
- Annealing-Prozessen
- Dotierungsprozessen
| Transparente Dünnschichten | Metallische Dünnschichten |
|---|---|
| TCO (ITO, FTO, AZO, ATO) | Aluminium |
| Kohlenstoffnanoröhrchen | Molybdän |
| Graphen | Silber |
| Metall-Nano-Drähte und Nano-Gitter | Kupfer |
| Nano-Partikel Schichten | Sonstige |
Software & Bedienung
Der "Sheet Resistance Analyzer" ist eine benutzerfreundliche Software für die Systemkonfiguration und Datenanzeige. Die Messergebnisses des Prüfprozesses werden mit Hilfe von Grafiken veranschaulicht. Hisogramme und zusätzliche Software-Werkzeuge ermöglichen ein detailliertes Schichtwiderstands-Messsystem.
- Schnelles automatisiertes Mapping
- Benutzerfreundliche Datenanalyse
- Datenexport-Funktion
Mapping Lösungen
EddyCus® TF map 2525SR /
EddyCus® TF map 5050SR
Der EddyCus® TF map 2525SR und 5050SR sind Messgeräte für schnelles Mapping des Schichtwiderstands und der Schichtdicke. Es dient ebenfalls zum Homogenitätsmapping und zur Fehlererkennung von leitfähigen Dünnschichten auf Glas, Folien und Wafer. Für unterschiedliche Anforderungen gibt es entsprechende berührungsfreie Testverfahren.
- Schichtwiderstandsmessung [Ohm/sq]
- Messung der Schichtdicke von Dünnschichten [nm]
- Messung der Substratdicke gering- und hochleitfähiger Subtrate [µm]
Leistung & Eigenschaften
| EddyCus® TF map 2525 SR | EddyCus® TF map 5050 SR | |
|---|---|---|
| Schichtwiderstands-Messung | Ja | |
| Schichtdicken-Messung | Ja | |
| Simultane optische Transparenzmessung | Optional | |
| Anisotropie Bestimmung | Optional | |
| Schichtwiderstand- und Schichtdickenmessung | Berührungsloser Wirbelstromsensor | |
| Substratdickemessung | Ultraschall-Sensor | |
| Max. Messfeldgröße | 10 inch / 254 x 254 mm | 20 inch / 508 x 508 mm |
| Max. Probendicke (definierter Abstand) |
2 / 5 / 10 mm (andere auf Anfrage) (Definiert durch die Dicke der Proben) |
|
| Schichtwiderstandsbereich | 0,001 – 10 Ohm/sq; <2 % Genauigkeit 10 – 100 Ohm/sq; < 3 % Genauigkeit 100 – 1.000 Ohm/sq; < 5 % Genauigkeit |
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| Dickenmessung (Scan) von Metallschichten (z.B. Kupfer) | 2 nm - 2mm (in Übereinstimmung mit Schichtwiderstandsbereich) |
|
| Scandauer @ 1 – 10 mm Messabstand |
100 x 100 mm in 0,5 to 5 minuten 200 x 200 mm in 1,5 to 15 minuten |
200 x 200 mm in 1,5 to 15 minutes |
| Scanabstand | 1 / 2 / 5 / 10 mm (andere auf Anfrage) | |
| Gerätemaße (H/B/T) | 230 / 600 / 800 mm | 290 / 1180 / 900 mm |
| Gewicht | 27,0 kg | 120,0 kg |
| Verfügbare Extras | Metalldickentester Anisotropie-Schichtwiderstandssensor Optischer Transmissionssensor bei Wellenlänge von 632 nm |
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