La serie EddyCus® TF (Thin-Film) (para películas finas) consta de una serie de dispositivos diseñados para realizar ensayos de la resistencia superficial de películas finas sin contacto y en tiempo real, utilizando para ello una tecnología de ensayos con corrientes Eddy sin contacto. Estos sistemas también se pueden utilizar para la caracterización de películas sensibles, capas ocultas o encapsuladas de vidrio, obleas o láminas delgadas. Sus usos son los siguientes:
- Ensayos de resistividad superficial entre 0.1 miliohmios/cuadrado y 3.000 ohmios/cuadrado
- Medición del grosor de las capas de películas metálicas de entre 5 nm y 500 micras
- Mapeo de la conductividad a partir del 1% IACS (0.6 MS/m)
Soluciones de medición de la resistencia superficial
DISPOSITIVOS DE MEDICIÓN DE PUNTO ÚNICO
Los dispositivos EddyCus® TF lab son sistemas de escritorio para la medición de la resistencia superficial y del grosor de las películas, y se han diseñado para una caracterización de películas rápida y sin contacto para laboratorios, centros de I+D y departamentos de control de calidad de fábricas y plantas de fabricación de semiconductores.
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Usos en ensayos
- Ensayos de resistencia superficial o de resistividad superficial para la evaluación de los procesos de deposición, los procesos de recocido, los procesos de dopado, los procesos de ablación o los procesos de oxidación (envejecimiento)
- Ensayos del grosor de películas metálicas
Más información
Descargar la ficha técnica EddyCus® TF lab 2020SR Series PDF 875,9 KB
Descargar la ficha técnica EddyCus® TF lab 4040SR Series PDF 747,0 KB
Descargar la ficha técnica EddyCus® TF lab 4040SR-A Anisotropy PDF 495,4 KB
Descargar la ficha técnica EddyCus® TF lab 4040SR-OT Hybrid PDF 935,2 KB
SISTEMAS DE MEDICIÓN EN LÍNEA
La serie EddyCus® TF inline incorpora kits de integración en equipos de recubrimiento que permiten el control en línea y sin contacto de la resistencia superficial y de los procesos de deposición de películas conductoras finas.
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Usos en ensayos
- Medición en línea de la resistencia superficial y optimización del uso de materiales
- Medición en línea del grosor de los recubrimientos de películas metálicas finas
- Medición del grosor de sustratos
- Detección de fisuras, pruebas sobre obleas y clasificación de materiales
SOLUCIONES DE MAPEO
La serie EddyCus® TF está diseñada para el mapeo rápido de la resistencia superficial, la evaluación de la homogeneidad de las capas y la detección de efectos y defectos localizados. Los sistemas están disponibles en forma de equipos independientes para la instalación en el suelo o como dispositivos de escritorio.
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Usos en ensayos
- Mapeo de la resistencia superficial de óxidos/materiales conductores transparentes, metalizados y obleas
- Mapeo del grosor de las capas de películas metálicas finas
- Mapeo de la homogeneidad y detección de defectos (p. ej., impurezas, fisuras o efectos de la deposición)
- Evaluación de películas finas conductoras estructuradas
- Detección de fisuras, pruebas sobre obleas y clasificación de materiales
Materiales & Sectores
Películas transparentes
- Óxidos conductores transparentes (ITO, FTO, AZO, ATO)
- Nanotubos de carbono
- Nanocables metálicos
- Películas de grafeno
- Otros
Películas metálicas
- Cobre
- Aluminio
- Molibdeno
- Zinc
- Plata
- Otros
Campos de aplicación
- Sector del vidrio arquitectónico/flotado
- Películas y materiales de embalaje
- Películas antiestáticas y para el sector fotovoltaico/solar
- Pantallas táctiles y planas
- Aplicaciones de LED/OLED y vidrio inteligente
- Sector de los semiconductores
- Aplicaciones de descongelación y calefacción