Les systèmes EddyCus® TF (TF: Thin-Film) représentent des outils de mesure sans contact et en temps réel de la résistance superficielle de couches minces, en utilisant une technologie sans contact de courant de Foucault. Ces instruments peuvent être utilisés pour la caractérisation de films sensibles, de couches cachées ou encapsulées sur verre, plaquette ou feuilles. Les applications typiques sont:
- Mesure de la résistance superficielle de 0.1 mOhm/sq à 3.000 Ohm/sq
- Mesure de l'épaisseur de couches minces métalliques de 5 nm à 500 µm
- Cartographie de la conductivité à partir de 1% IACS (0.6 MS/m)
Solutions pour Mesure de la Résistance Superficielle
Les systèmes EddyCus® TF lab sont des outils de type desktop pour la mesure rapide et sans contact de la résistance superficielle et de l'épaisseur de couches minces, qui sont souvent utilisés dans des laboratoires, des centres de R&D et des services de contrôle de qualité dans des usines.
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Applications Test
- Analyse de la résistance superficielle pour la caractérisation de procédés de dépôt, de l'étuvage, de dopage, d'ablation ou d'oxydation (vieillissement accéléré)
- Mesure de l'épaisseur de films métalliques
En savoir plus
Télécharger la fiche technique EddyCus® TF lab 2020SR Series PDF 875,9 Kio
Télécharger la fiche technique EddyCus® TF lab 4040SR Series PDF 747,0 Kio
Télécharger la fiche technique EddyCus® TF lab 4040SR-A Anisotropy PDF 495,4 Kio
Télécharger la fiche technique EddyCus® TF lab 4040SR-OT Hybrid PDF 935,2 Kio
La série EddyCus® inline comporte des kits d'intégration pour montage dans des dispositifs de revêtement qui permettent par exemple le suivi en ligne et sans contact de la résistance superficielle ou le contrôle des procédés de déposition de couches minces conductrices.
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Applications Test
- Mesure en ligne de la résistance superficielle et son optimisation en fonction de l'application
- Mesure en ligne de l'épaisseur de couches minces métalliques
- Mesure de l'épaisseur de substrats
- Détection de fissures, test de plaquettes et tri de matériaux
La série EddyCus® TF map est dédiée à la cartographie rapide de la résistance superficielle, l'analyse de l'homogénéité de couches et la détection d'effets et de défauts locaux. Ces systèmes sont disponibles en version autoporteuse ou desktop.
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Applications Test
- Cartographie de la résistance superficielle de TCO/TCMs, de couches minces métalliques et de plaquettes
- Cartographie de l'épaisseur de couches minces métalliques
- Cartographie de l'homogénéité et de défauts (ex.:des pollutions, fissures, effets de dépôt)
- Analyse de couches minces conductrices structurées
- Détection de fissures, test de plaquettes et triage de matériaux
Matériaux & Industries
Films Transparents
- TCO (ITO, FTO, AZO, ATO)
- CNT (nano-tubes en carbone)
- Nano-fils métalliques
- Films en graphène
- Autres
Films Métalliques
- Cuivre
- Aluminium
- Molybdène
- Zinc
- Argent
- Autres
Domaines d'Application
- Industries du verre architectural & du verre flotté
- Films & autres matériaux d'emballage
- Films photovoltaïques & antistatiques
- Ecrans tactiles & écrans plats
- LED/OLED & applications en verre intelligent
- Industrie des semi-conducteurs
- Applications de dégivrage & de chauffage