Applications
- Verre architectural
- Ecrans tactiles & écrans plats
- Applications OLED
- Applications sur verre intelligent
- Films transparents antistatiques
- Cellules photovoltaïques
- Applications de dégivrage & de chauffage
- Batteries et piles
Mesure de la Résistance Superficielle
L’appareil EddyCus® TF map 2525SR/5050SR a été développé en particulier pour des mesures sans contact et en temps réel de l’épaisseur et de la résistance superficielle de couches minces de faible ou forte conductivité sur verre, plaquette, plastic ou film. Cet outil permet également de rapidement acquérir des cartographies précises de haute résolution spatiale de la résistance superficielle ainsi que de l’épaisseur de films conducteurs ou métalliques. Ces balayages sans contact seront précieux pour l’assurance de qualité dans le cas de:
- Les procédés de dépôt
- Les procédés de recuit
- Les procédés de dopage
| Couches minces transparentes | Couches minces métalliques |
|---|---|
| TCO (ITO, FTO, AZO, ATO) | Aluminum |
| Nano-tubes en carbone | Molybdène |
| Films en graphène | Argent |
| Nano-fils métalliques | Cuivre |
| Films en nano-particules | et beaucoup d’autres |
Logiciel & Utilisation
Le logiciel de contrôle pour l’analyse de la résistance superficielle se distingue par une interface d’utilisation simple pour configurer les acquisitions et analyser les données à l’aide de visualisations graphiques. Un large choix d’histogrammes et d’autres outils soft complète cet outil d’analyse.
- Cartographie rapide et automatisée
- Analyses statistiques simple à utiliser
- Fonctions d’analyse et d’export des données
EddyCus® TF map 2525SR /
EddyCus® TF map 5050SR
L'EddyCus® TF map 2525SR/5050SR est un outil de cartographie rapide de la résistance superficielle, de l’épaisseur et de l’homogénéité de couches, ainsi que des effets et des défauts de conductivité de couches minces et d’empilement de matériaux fins sur verre, plaquette et films. Différentes solutions de mesure sans contact sont disponibles, en fonction des contraintes d’application:
- Suivi de la résistance superficielle [Ohm/sq]
- Suivi de l’épaisseur de couches minces [nm]
- Mesure d’épaisseur pour des substrats de faible ou forte conductivité [µm]
Télécharger la fiche technique EddyCus® TF map 2525SR PDF 573,0 Kio
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Spécifitcations & Configurations
| EddyCus® TF map 2525 SR | EddyCus® TF map 5050 SR | |
|---|---|---|
| Sheet Resistance Measurement | Yes | |
| Thickness Measurement | Yes | |
| Optical Transmission | Optional | |
| Anisotropy Determination | Optional | |
| Mesure de la résistance superficielle et de l'epaisseur de métal | Sonde de type Courant de Foucault | |
| Mesure de l’épaisseur de substrat | Sonde ultrasonique | |
| Zone de balayage | 10 inch / 254 x 254 mm | 20 inch / 508 x 508 mm |
| Epaisseur maximale de l’échantillon (conditionne l’ouverture de mesure) |
2 / 5 / 10 mm (Défini par l’échantillon le plus épais) |
|
| Gammes de résistance superficielle couvertes par les différentes sondes | 0.001 – 10 Ohm/sq; <2 % accuracy 10 – 100 Ohm/sq; < 3 % accuracy 100 – 1,000 Ohm/sq; < 5 % accuracy |
|
| Mesure d’épaisseur de couches minces | 2 nm - 2mm (en fonction de la résistance superficielle) |
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| Durée de balayage avec un pas de @ 1 – 10 mm |
4 inch / 100 x 100 mm in 0.5 to 5 minutes 8 inch / 200 x 200 mm in 1.5 to 15 minutes |
8 inch / 200 x 200 mm in 1.5 to 15 minutes 12 inch / 300 x 300 mm in 3 to 30 minutes |
| Pas de balayage | 1 / 2 / 5 / 10 mm (other on request) | |
| Dimensions (h/l/p) | 230 / 600 / 800 mm | 290 / 1180 / 900 mm |
| Poids | 27.0 kg | 120.0 kg |
| Fonctionnalités disponibles | Metal thickness tester Anisotropy sheet resistance sensor Optical transmission sensors at 632 nm wavelength |
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