Aplicações
- Vidros para construção
- Telas de toque e monitores de tela plana
- Aplicações OLED
- Aplicações de vidro inteligente
- Folhas antiestáticas transparentes
- Células fotovoltáicas
- Aplicações de descongelamento e aquecimento
- Baterias
Medição da resistência de folha
A série EddyCus ® TF inline combina hardware padronizado e personalizado para controle de qualidade integrado na linha de produção automatizada. As tarefas de teste para aplicação em linha envolvem a medição da resistividade e da espessura de folha. O Eddy Current facilita o monitoramento de processos de deposição na produção inteira. O hardware disponível oferece variabilidade e flexibilidade em alto nível, a fim de cobrir as necessidades específicas do cliente. Esta solução inline permite garantir a qualidade em:
- Processos de deposição
- Processos de recozimento
- Processos de dotação
| Filmes transparentes finos | Filmes metálicos finos |
|---|---|
| ITO (Indium Tin Oxide) | Alumínio |
| Nanotubos de carbono e nanobotões | Molibdênio |
| Filmes de grafeno | Prata |
| Nanofios metálicos e nanogrades | Cobre |
| Nanofilmes de partícula | e muitos mais |
Software & Manuseio
O software de controle do EddyCus® TF inline fornece módulos para representação, armazenamento, análise e exportação de dados. O sistema é conectado com um computador industrial ou MES via Ethernet, RS 232 ou RS 485, para troca de dados.
- Representação de resistência ou espessura de folha em tempo real
- Banco de dados SQL para armazenamento de dados e análise abrangente
- Revisão de dados, resumos estatísticos e relatórios
- Diversas interfaces disponíveis
Sistemas de medição em linha
EddyCus® TF inline
EddyCus® TF inline compreende soluções de medição da espessura da camada e de resistência de folha para controle de qualidade inline e controle de processos.
- Monitorização da resistência da folha [Ohm/sq]
- Monitoramento da espessura de camada fina [nm]
- Monitoramento de espessura da parede de substratos de alta e baixa condutividades [µm]
Desempenho & Configuração
| EddyCus® TF inline | ||
|---|---|---|
| Tamanho da abertura de medição | 1 / 5 / 10 / 25 / 50 mm (outras por consulta) | |
| Número de pares de sensores | 1-99 | |
| Substratos | Vidro / filmes de PET / wafer | |
| Camadas condutivas | Metais / TCO / CNT / nanofios / grafeno / Grades | |
| Abrangência dos sensores quanto à faixa de resistência de folha |
0,001 – 10 Ohm/sq < 2 % precisão 10 – 100 Ohm/sq < 3 % precisão 100 – 1.000 Ohm/sq < 5 % precisão |
|
| Meio ambiente | Ex-vácuo/ in-vácuo < 60°C/ 140°F (a pedido < 90°C/ 194°F) |
|
| Taxa de amostragem | 1 / 10 /50 /100 /1000 amostra por segundo (maior a pedido) | |
| Espessura | 2 nm para 2 mm em conformidade com a resistência de folha | |
| Outras medidas integradas | Espessura e temperatura dos substratos / transmissão óptica | |
| Outras características integradas disponíveis | gatilho hardware / DMC ou leitor de código de barras | |
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