Aplicações:
- Vidros para construção
- Telas de toque e monitores de tela plana
- Aplicações OLED
- Aplicações de vidro inteligente
- Folhas antiestáticas transparentes
- Células fotovoltáicas
- Aplicações de descongelamento e aquecimento
- Baterias
Medição de resistência da folha
O EddyCus® TF map 2525SR/5050SR é especialmente desenvolvido para a determinação da espessura e da resistência da folha sem contato em tempo real dos filmes finos de condutividade alta e baixa no vidro, wafer, plásticos ou folhas. Os dispositivos permitem mapeamento espacial e preciso da alta velocidade de resistência da folha de filmes condutores e monitoramento da espessura dos filmes metalicos. Esta solução de mapeamento sem contato é benéfico para a garantia de qualidade para:
- Processos de deposição
- Processos de recozimento
- Processos de dotação
| Filmes finos e transparentes | Filmes finos e metálicos |
|---|---|
| TCO (ITO, FTO, AZO, ATO) | Alumínio |
| Nanotubos de carbono e nanobotões | Molibdênio |
| Filmes de grafeno | Prata |
| Nanofios metálicos e nanogrades | Cobre |
| Nanofilmes de partícula | e muito mais |
Software & Manuseio
O analisador de resistência da folha é um software fácil de usar para a configuração do sistema e revisão de dados. Os resultados dos processos de ensaio são ilustrados com representações gráficas. Histogramas adicionais e ferramentas de software permitem um sistema de medição de resistência detalhado.
- Mapeamento automatizado rápido
- Análise estatística de usar fácil
- Função de análise e dados de exportação
Soluções de Mapeamento
EddyCus® TF map 2525SR /
EddyCus® TF map 5050SR
EddyCus® TF map 2525SR/5050SR é um o medidor para mapeamento rápido de resistência da folha, da espessura, da homogeneidade de camada, dos efeitos de condutividade e dos defeitos de filmes condutores e sistemas de material fino em vidro, wafer e folhas. Soluções diferentes de teste sem contato são disponíveis adequando necessidades diferentes.
- Monitoramento de resistência de folha [Ohm/sq]
- Monitoramento da espessura da camada fina [nm]
- WMonitoramento da espessura da parede de substratos com condutividade alta e baixa [µM]
Desempenho & Configuração
| EddyCus® TF map 2525 SR | EddyCus® TF map 5050 SR | |
|---|---|---|
| Sheet Resistance Measurement | Yes | |
| Thickness Measurement | Yes | |
| Optical Transmission | Optional | |
| Anisotropy Determination | Optional | |
| Medição de resistência da folha | Sensor de correntes de Foucault sem contato | |
| Medição da espessura do substrato | Sensor ultrassônico | |
| Área de digitalização | 10 inch / 254 x 254 mm (maior a pedido) |
20 inch / 508 x 508 mm (maior a pedido) |
| Espessura da amostra maxíma (define distâncias) |
2 / 5 / 10 / 14 mm (Defined by the thickest sample/application) |
|
| Faixa de resistência da folha | 0,001 – 10 Ohm/sq; <2 % precisão 10 – 100 Ohm/sq; < 3 % precisão 100 – 1.000 Ohm/sq; < 5 % precisão |
|
| Medição da espessura de filmes finos (por exemplo, cobre) |
2 nm – 2 mm (de acordo com a resistência da folha) |
|
| O tempo de digitalização por um passo de medição de @ 1 – 10 mm milímetro |
100 x 100 mm in 0,5 to 5 minutes 200 x 200 mm in 1,5 to 15 minutes |
200 x 200 mm in 1,5 to 15 minutes 300 x 300 mm in 3 to 30 minutes |
| Digitalização de passo | 1 / 2 / 5 / 10 mm (other on request) | |
| Dimensiones (a/l/p) | 230 / 600 / 800 mm | 290 / 1180 / 900 mm |
| Peso | 27,0 kg | 120,0 kg |
| Funcionalidades disponíveis | Metal thickness tester Anisotropy sheet resistance sensor Optical transmission sensors at 632 nm wavelength |
|
PEDIR ORÇAMENTO