Системы серии EddyCus® TF (от англ. thin-film) позволяют производить в реальном времени безконтактные измерения поверхностного сопротивления тонких пленок используя метод вихревых токов. Кроме того данный метод позволяет безконтактно характеризировать скрытые и изолированные пленки, а также высокочувствительные пленки на стекле, кремниевых подложках и пленках. Применения:
- Измерение поверхностного сопротивления от 0,1 мОм/кв до 3.000 Ом/кв
- Измерение толщины металлических пленок от 5 нм до 500 мкм
- Сканирование проводимости от 1% IACS (0.6 MC/м)
Системы для измерения поверхностного сопротивления пленок
Приборы для точечных измерений
Приборы серии EddyCus® TF lab являются настольными системами для быстрой и безконтактной характеристики тонких пленок для лабораторий, для центров исследований и разработок, а также для отделов по контролю качества на предприятиях.
ЗАПРОСИТЬ ПРЕДЛОЖЕНИЕ
Применение
- Измерение поверхностного сопротивления для оценки процессов нанесения, отжига, легирования/дотирования, удаления, а также процессов старения тонких пленок
- Измерение толщины металлических пленок
Встроенные системы контроля
Серия EddyCus® TF inline составляет интеграционный пакет для производственных линий для оценки качества и управления процессом нанесения тонких проводящих пленок на производстве и в центрах исследований и разработок.
ЗАПРОСИТЬ ПРЕДЛОЖЕНИЕ
Применение
- Измерение поверхностного сопротивления в режиме inline и оптимизация расхода сырья
- Измерение толщины металлических пленок в режиме inline
- Оценка толщины подложки
- Проверка на наличие царапин и трещин, сортировка материалов
Сканирующие приборы
Серия EddyCus® TF map охватывает измеряемые системы и настольные приборы для сканирования поверхностных сопротивлений, проводимостей, а также для нахождения локальных эффектов и дефектов для лабораторий, для центров исследований и разработок, а также для отделов по контролю качества на предприятиях.
ЗАПРОСИТЬ ПРЕДЛОЖЕНИЕ
Применение
- Сканирование поверхностного сопротивления тонких пленок, металлических покрытий, подложек
- Сканирование однородности и нахождение дефектов, таких как загрязнения, царапины, отслоения
- Визуализация структурированных проводящих тонких пленок, в том числе в скрытых слоях
- Оценка проводимости приграничных пленок, например склонность к эродированию
- Сканирование толщины металлических пленок
Материалы & индустрия
Прозрачные тонкие пленки
- TCO (ITO, FTO, AZO, ATO)
- CNT (carbon nanotubes)
- Металлические нано-проволки
- Графен
- прочее
Металлические тонкие пленки
- Медь
- Алюминий
- Молибден
- Цинк
- Серебро
- прочее
Область применения
- Архитектурное стекло/термополированное стекло
- Упаковочные материалы и пленки
- ФЭП, солнечные элементы и антистатические пленки
- Применение для OLED и Smart-Glass
- Полупроводниковая индустрия
- Защита от облединения и для обогревания