Применение
- Архитектурное стекло
- Сенсорные экраны и плоские мониторы
- Системы ОСИД
- Системы «умного стекла»
- Прозрачная антистатическая пленка
- Фотоэлементы
- Устройства удаления льда и нагревания
- Батареи
Измерение сопротивления слоя
Серия EddyCus® TF inline – это комбинация стандартного и определенного заказчиком аппаратного исполнения для встроенного контроля и обеспечения качества в автоматических производственных линиях. Задачи испытания линейных систем включают в себя измерение толщины и сопротивления слоя. Вихревые токи способствуют всестороннему отслеживанию процессов осаждения по всей ширине производственной линии, а имеющаяся аппаратная платформа обеспечивает высокую степень вариабельности и гибкости в соответствии с конкретными требованиями заказчика. Такая бесконтактная линейная схема хорошо зарекомендовала себя для обеспечения качества в следующих областях:
- Процессы осаждения
- Процессы отжига
- Процессы флотационного обогащения
| Прозрачная тонкая пленка | Металлические тонкие пленки |
|---|---|
| ITO (оксид индия и олова) | Алюминий |
| Углеродные нанотрубки и наноглазки | Молибден |
| Графеновые пленки | Серебро |
| Металлические нанопровода и наносетки | Медь |
| Пленки наночастиц | И многие другие |
Программное обеспечение и обращение
Управление EddyCus® TF обеспечивает модули для изображения данных, хранения данных и анализа данных. Для обмена данными система связана с промышленным компьютером или системой организации производства (MES) через Ethernet, RS 232 или RS 485.
- Изображение сопротивления слоя или толщины в реальном времени
- В том числе база данных SQL для всестороннего хранения и анализа данных
- Анализ данных, статические итоги и отчеты
- Имеются различные интерфейсы
Системы измерения в потоке
EddyCus® TF inline
EddyCus® TF inline обеспечивает решения по измерению толщины и сопротивления слоя для обеспечения качества линейных измерений и контроля техпроцесса.
- Отслеживание сопротивления слоя [Ом/кв.]
- Отслеживание толщины тонкой пленки [нм]
- Отслеживание толщины стенки субстратов с высокой и низкой проводимостью [мкм]
Рабочие данные и установка
| EddyCus® TF inline | ||
|---|---|---|
| Измерение размера зазора | 1/ 5/ 10/ 25/ 50 мм (прочее по запросу) | |
| Число сенсорных пар | 1-99 | |
| Субстраты | Стекло/ ПЭТ-пленка/ кристаллическая пластина | |
| Токопроводящие слои | Металлы/ прозрачный проводящий оксидные слои / углеродные нанотрубки/ нанопровода/ графен/ решетки | |
| Диапазон измерения слоя, охватываемый каждым сенсором |
0,001 – 10 Ом/кв.< точность 2 % 10 – 100 Ом/кв.< точность 3 % 100 – 1.000 Ом/кв. < точность 5 % |
|
| Среда | Вне вакуума / под вакуумом < 60°C/ 140°F (по запросу < 90°C/ 194°F) |
|
| Скорость обработки измерений | 1 / 10 /50 /100 /1000 измерений в сек (выше по запросу) | |
| Толщина | От 2 нм до 2 мм, в соответствии с сопротивлением слоя | |
| Прочие строенные измерения | Толщина субстрата и температура / оптическая передача |
|
| Прочие имеющиеся встроенные характеристики | Выключатель аппаратуры/ цифровая микросхема или считыватель штрих-кодов | |
ЗАПРОС КОТИРОВКИ