EddyCus® TF 系列 (thin-film) 是非接触式的实时测量薄膜电阻的检测设备,它利用非接触式涡旋电流检测技术。该系统也可用于表征薄膜,玻璃内部的导电层,晶圆以及金属箔片。此产品应用如下:
EddyCus® TF lab 设备为桌上薄膜电阻和薄膜厚度测量系统。它是专门为业界实验室,研发中心和质量保证部门设计的快速非接触式薄膜特性分析系统。
The EddyCus® inline 系列适合监控镀膜设备的品质,此系列是使用非接触式测量,可用在线上检测薄膜电阻值和导电薄膜沉积过程的控制。