應用面:
- 建築用玻璃
- 觸碰螢幕和平面顯示器
- OLED 應用
- Smart-glass應用
- 透明抗靜電箔片
- 太陽能電池
- 除冰和加熱應用
- 電池
片電阻測量
The EddyCus® TF inline 系統可以客製化的硬體整合在客戶端的系統上,作為線上即時監控系統。可以同時監測片電阻值和膜厚厚度。此套系統可以提供非常彈性客製化的服務,安裝在薄膜製成中作為即時監測 。這套非接觸式的檢測方案可以有利於以下的品質驗證:
- 薄膜製成
- 加溫退火過程
- Dotation processes
| 透明薄膜 | 金屬薄膜 |
|---|---|
| ITO (Indium Tin Oxide) | Aluminum |
| Carbon nano tubes and nano buds | Molybdenum |
| Graphene films | Silver |
| Metal nano wires and nano grids | Copper |
| Nano particle films | and many more |
軟體 & 數據處理
The EddyCus® TF inline 軟體可以提供數據追蹤、數據存儲、數據預覽、數據輸出、數據分析等的各種軟體。這套系統也可以透過Ethernet, RS 232 or RS 485 連接到工業型電腦或MES上。
- 即時描述片電阻值或膜厚厚度
- Inc. SQL Database 對各種數據儲存和分析
- 數據預覽和數據輸出報告功能
- 多種人性化界面
Inline Systems
EddyCus® TF inline
EddyCus® TF inline 是針對片電阻值測量和膜厚測量的完美方案，非常適用在線上監控和品質驗證方面。
- 片電阻值監測 [Ohm/sq]
- 膜厚監測 [nm]
- 高導電性到低導電性基板厚度測量 [µm]
儀器表現 & 設定
| EddyCus® TF inline | ||
|---|---|---|
| 最大樣品厚度(影響 gap size) | 1 / 5 / 10 / 25 / 50 mm (other on request) | |
| 可安裝Sensor 數目 | 1-99 | |
| 基板材料 | Glass/PET-foils/wafer | |
| 可測的導電層種類 | Metals / TCO / CNT / Nanowires / Graphene / Grids | |
| 片電阻測量範圍 | 0.001 – 10 Ohm/sq < 2% accuracy 10 – 100 Ohm/sq < 3% accuracy 100 – 1,000 Ohm/sq < 5% accuracy |
|
| 可承受環境 | Ex-vacuo/in-vacuo < 60°C/140°F (on request < 90°C/194°F) |
|
| 測量樣品速度 | 1 / 10 /50 /100 /1,000 samples per second (higher on request) | |
| 薄膜厚度測量 | 2 nm to 2 mm in accordance with sheet resistance | |
| 更多可以整合之需求 | Substrate thickness and temperature/ optical transmission |
|
| 更多可以整合之功能 | Hardware trigger/DMC or bar code reader | |
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