SURAGUS | Single Point

EddyCus^® TF lab 系列是特別設計，為在玻璃、晶圓、,塑膠或箔片上的導電薄膜的測量系統，為單點非接觸式的方法，即時測量薄厚和片電阻值。這系列的儀器也適用於即時測量導電材料的厚度，例如金屬箔片、金屬片等。

EddyCus® TF lab 對於片電阻值測量、數據追蹤、數據分析的控制軟體，具有非常人性化的介面設計。 SURAGUS 也提供適用觸碰功能的軟體，方便使用者在電腦或平板電腦上操作。

EddyCus® TF lab 2020SR 是使用單點來測量片電阻值和膜厚的儀器，適合實驗室應用和較小的樣品分析。

EddyCus® TF lab 4040SR 是使用單點且非接觸式來快速測量片電阻值和膜厚的儀器，適合實驗室、研發中心和薄膜製程的品質保證部門，適合用來分析較大的樣品。

	EddyCus TF lab 2020SR	EddyCus TF lab 4040SR
基板厚度測量	視需求
基板大小	On request
Substrate area	200 x 200 mm²	400 x 400 mm²
最大樣品厚度(影響 (influences gap size)	up to 14mm (20 mm possible) (Defined by the thickest sample/application)	1 / 2 / 5 / 10 / 18 mm (50 mm possible) (Defined by the thickest sample/application)
片電阻測量範圍	0.0001 – 10 Ohm/sq; 2 % accuracy & 1 % repeatability 10 – 100 Ohm/sq; 3 % accuracy & 1.5 % repeatability 100 – 500 Ohm/sq; 4 % accuracy & 2 % repeatability 100 – 1,000 Ohm/sq; 5 % accuracy & 2.5 % repeatability 1,000 – 3,000 Ohm/sq; 8 % accuracy & 4 % repeatability
薄膜厚度測量	依據片電阻值判斷
儀器大小 (h/w/d)	445 / 290 / 140 mm	660 / 760 / 310 mm