EddyCus® TF 系列 thin-film) 是非接觸式的即時測量薄膜片電阻的一組設備，其利用非接觸式渦電流檢測技術。該系統也可用於分析感應膜薄、玻璃上面內部layer、晶圓和金屬箔片的特性。此系列產品能應用在::
- 片電阻測量: 0,1 mOhm/sq to 3.000 Ohm/sq
- 金屬膜厚測量: 5 nm ~ 500 μm
- 電導率mapping: 1% IACS (0,6 MS/m) 以上
Non-contact Sheet Resistance Measurement Solutions
EddyCus® TF lab 設備為桌上型片電阻和薄膜厚度測量系統。專門為業界實驗室、研發中心、品質保證部門設計的快速非接觸式薄膜特性分析系統，
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測量應用
- 製程中片電阻值和片電阻率測量的評估 (包含deposition processes, annealing processes, doping processes, ablation processes or oxidation processes (aging))
- 金屬膜厚測量
The EddyCus® TF inline 系列適合監控鍍膜設備的品質，此系列是使用非接觸式測量，可用在線上監測片電阻值和導電薄膜沉積過程的控制。
The EddyCus® TF map 系列是專門測量片電阻、layer均勻性評估、局部效應和缺陷檢測的設備，具有快速mapping的功能。此系統可作為獨立的測試站或桌面設備使用。
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測量應用
- 片電阻mapping (包含TCO/TCMs, 金屬鍍膜層, 晶圓)
- 金屬薄膜的膜厚mapping
- 均勻性mapping和缺陷檢測 (包含impurities, cracks, deposition effects)
- 結構性導電薄膜的評估
- 裂縫檢測，晶圓測量，材料分類
Materials & Industries
Transparent Films
- TCO (ITO, FTO, AZO, ATO)
- CNT (carbon nanotubes)
- Metal nano-wires
- Graphene films
- Other
Metallic Films
- Copper
- Aluminium
- Molybdenum
- Zinc
- Silver
- Other
Fields of Application
- 建築用玻璃/平板玻璃產業
- 金屬包裝箔片和箔片材料
- 太陽能電池和抗靜電箔片
- 觸碰螢幕和平面顯示器
- LED/OLED & Smart-Glass applications
- 半導體產業
- De-icing & heating applications